美國ALICAT 21S系列抗腐蝕型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準證書。Alicat的21S系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速準確地測量并控制腐蝕性氣體(如NH3、H2S、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。

氣體流量控制器產(chǎn)品特點 ：

● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力
● 可選高精度：優(yōu)于0.5%
● 高量程比 100:1
● 響應時間快 僅需100ms(可調(diào))
● 內(nèi)置130種常規(guī)以及腐蝕性氣體（如介質(zhì)是lv氣CL2 或 二氧化硫SO2，訂貨時，需特殊說明）
● 可現(xiàn)場標定混合氣體，并存儲20種混合氣
● 可適用于諸多腐蝕性氣體

氣體流量控制器技術參數(shù) ：

介質(zhì)要求：潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可

介質(zhì)種類：內(nèi)置了130種氣體，請咨詢

一臺設備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量程：從0-0.5SCCM 到 0-5000SLPM（詳情請咨詢）

量程比：100:1

max顯示流量：102.4%FS

顯示屏：同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精度：± (0.8%RD 0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-滿量程

高精度：±(0.4%Rd 0.2%FS)，選配

僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設備

重復性：± 0.2% FS

零點漂移&滿量程漂移：0.02% F.S / ºC / Atm

預熱時間：<1s

響應時間：100ms

標定工況：25ºC & 100kPa 絕壓、20ºC & 100kPa 絕壓、0ºC & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)

工作溫度：-10 ～  50 ºC

工作濕度：0-100%,無冷凝

標準max工作壓力：1MPa 表壓

標準極限耐壓：1.2MPa 表壓

中壓選項：2MPa

數(shù)字輸入/輸出信號：RS232、RS485、Modbus、Profibus*

模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc、1-5Vdc、 0-10Vdc、4-20mA

供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)

供電電流：250mA ～ 750mA

電氣接口：8針Mini-DIN、DB9、DB15、6針工業(yè)接頭

材質(zhì)：316L不銹鋼、303不銹鋼, 430FRSS, FFKM (Kalrez)

可根據(jù)特殊氣體選用Viton, EPDM, Buna, Neoprene

防護等級：IP40

* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及

供電電流需咨詢我們

產(chǎn)品選型 ：

選項及配件 ：

●標準性能
多功能數(shù)字顯示屏
顯示多種測量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預熱
316L不銹鋼本體&傳感器
FFKM、Viton、Buna或EPDM密封材料可選
8針mini-DIN電信號接口
標準圓形電源接口
RS-232多點式數(shù)字輸出
RS-232多點式數(shù)字輸入 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模擬信號輸入可選 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
可調(diào)節(jié)PID算法 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
內(nèi)置130種常用氣體可選 ，開放COMPOSER™ — 氣體編輯器，允許用戶自定義混合氣體組分
200:1 量程可調(diào)比
NPT 接頭
可測量和控制從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質(zhì)保
●可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數(shù)字信號輸出
ProfiBUS數(shù)字信號輸入(僅用于質(zhì)量流量控制器)
RS-485數(shù)字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
第二種模擬信號輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠程顯示屏
遠程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM 密封
NeSSI 本體
氧氣清潔
用于高溫環(huán)境的遠程電子包裝
SAE 接頭
VCR, VCO 接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
雙向流動
額外標定點
定制混個氣體（至多4種）
定制流量范圍
不銹鋼閥門 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
高流量低壓損閥門 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
集成式電位計控制 (僅用于質(zhì)量流量控制器)

應用及案例 ：

● 大學/研究所
● 環(huán)境監(jiān)測
● 真空行業(yè)及鍍膜
● 工業(yè)爐窯
● 汽車制造
● 計量
● 過程工藝氣體測量