美國ALICAT 21V系列帶截止閥質量流量控制器，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。所有Alicat質量流量控制器均具有NIST可溯源校準證書。Alicat的21V系列數字式質量流量控制器是專為需要緊密關閉應用而設計的，如真空鍍膜和濺射過程等。該集成氣動切斷閥是常閉的，并且在閉合狀態下其z大氦氣泄漏率僅為1x10 atm scc/s。

產品特點 ：

● 數字化產品
● 帶氣動截止閥，泄漏率低
● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數控制:體積流量、質量流量和壓力
● 標配三種控制方式：數字、模擬和本地面板
● 可選高精度：可優于0.5%
● 高量程比 200:1
● 響應時間快 僅需100ms(可調)
● 內置98種氣體
● 可現場標定混合氣體（z多5種成分），并存儲20種混合氣

技術參數 ：

介質要求：非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類：內置了98種氣體，請參考“產品資料下載”中氣體兼容表

一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量程：從0-0.5SCCM 到 0-20SLPM

量程比：200:1

z大顯示流量：102.4%FS

顯示屏：帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式：同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數 FS-雙向滿量程

高精度：±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配

僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設備

閥門泄漏率：不超過1x10 atm scc/sec (He)

重復性：± 0.2% FS

零點漂移&滿量程漂移：0.02% FS / ºC / Atm

響應時間：100ms(可調) 預熱時間：<1s

標定工況：25ºC & 100kPa 絕壓、20ºC & 100kPa 絕壓、0ºC & 100kPa 絕壓 (三種工況現場可切換)

工作溫度：-10 ～ +50 ºC

工作濕度：0-100%,無冷凝

標準z大工作壓力：1MPa 表壓

標準極限耐壓：1.2MPa 表壓

中壓選項：2MPa

數字輸入/輸出信號：RS232或RS485或Modbus或Profibus*

模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可選第二路模擬輸出：質量流量或體積流量或壓力或溫度

供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)

供電電流：250mA ～ 750mA

電氣接口：8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業接頭

材質：316L,303&302不銹鋼,Viton,硅膠RTV，玻璃增強尼龍

鋁 ,黃銅,430FR 不銹鋼, 硅，玻璃, PCTFE

安裝方式：對位置無要求 防護等級：IP40

* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及

供電電流需咨詢我們

產品選型 ：

應用及案例 ：

● 大學/研究所
● 真空行業及鍍膜
● 半導體
● 光伏
● 過程工藝氣體測量