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泵軸位置 | 其他 | 輸送介質 | 其他 |
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葉輪數目 | 其他 | 應用領域 | 綜合 |
渦輪分子泵是一種高真空泵,利用高速旋轉的渦輪葉片與氣體分子碰撞,將氣體分子從進氣口推向排氣口,從而實現高真空的獲取。
EBARA荏原 渦輪分子泵 EMT427M
EBARA荏原 渦輪分子泵 EMT427M
渦輪分子泵是一種高真空泵,利用高速旋轉的渦輪葉片與氣體分子碰撞,將氣體分子從進氣口推向排氣口,從而實現高真空的獲取。它由德國物理學家貝克(W. Becker)于1958年發明,是現代高真空和超高真空技術中的核心設備之一。渦輪分子泵通常與前置泵(如干式泵或旋片泵)結合使用,以在寬壓力范圍內實現高效抽氣。
特點
無油污染:與油封式真空泵不同,渦輪分子泵在運行過程中無需油液潤滑,避免了油蒸氣對真空環境的污染,特別適合高潔凈度要求的應用。
寬壓力范圍:渦輪分子泵能夠在高真空(10^-3 Pa至10^-10 Pa)范圍內高效工作,與前置泵配合可實現從大氣壓到超高真空的抽氣。
高抽氣速度:渦輪分子泵對輕質氣體(如氫氣、氦氣)和中質氣體(如氮氣、氧氣)具有較高的抽氣速度,能夠快速建立并維持高真空環境。
結構精密:渦輪分子泵的轉子葉片和定子葉片采用精密加工技術,確保高速運轉時的穩定性和可靠性。
低振動和低噪音:現代渦輪分子泵采用先進的動平衡技術和減振設計,運行時振動和噪音極低
應用領域
半導體制造:在半導體生產過程中,渦輪分子泵用于光刻、薄膜沉積、離子注入和蝕刻等工藝,提供高潔凈度的真空環境。
科學研究:在粒子加速器、核聚變實驗、表面物理和材料科學等領域,渦輪分子泵用于實現超高真空環境。