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更新時(shí)間：2025-04-08 18:13:25
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質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精 密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī) 藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場合包括: 電 子工藝設(shè)備, 如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設(shè) 備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。
D07-7質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、穩(wěn)定可靠、 工作壓力范圍寬等特點(diǎn)(可以在高壓或真空條件下工作), 其操作使用方便, 可任意位置安 裝, 并便于與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。 D07系列質(zhì)量流量控制器一般與 D08系列流量顯示儀等產(chǎn)品配套使用,控制器與顯示 儀之間用專用電纜連接。
特點(diǎn)
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 管狀分流，使用壽命長
D07-7質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)技術(shù)參數(shù)
編號 | 類型 | D07-7K 型 | D07-7B 型 | D07-7C 型 | D07-7CM 型 |
1 | 流量規(guī)格 | (20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM |
2 | 準(zhǔn)確度 | ±1 % F.S | ±1.5 % F.S | ±1.5 % F.S | ±1.5 % F.S |
3 | 線性 | ±1 % F.S | ±1 % F.S | ±1 % F.S | ±1 % F.S |
4 | 重復(fù)精度 | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S |
5 | 響應(yīng)時(shí)間 | 電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec | 電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec | 電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec | 10 sec |
6 | 氣壓降 | ˉ | ˉ | ˉ | <0.01 MPa |
7 | 工作壓差范圍 | (0.1 ~ 0.5) MPa | (0.1 ~ 0.5) MPa | (0.1 ~ 0.5) MPa | <0.01 MPa |
8 | 溫度系數(shù) | Zero:≤±0.1% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃; | ˉ | ˉ | ˉ |
9 | 最大工作壓力 | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa |
10 | 耐壓 | 3 MPa | 3 MPa | 3 MPa | 3 MPa |
11 | 工作環(huán)境溫度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
12 | 輸入輸出信號 | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V |
13 | 電源 | +15 V 50 mA; -15V 200 mA | +15 V 50 mA; -15V 200 mA | +15 V 50 mA; -15V 200 mA | +15 V 50 mA
|
14 | 重量 | 1.1 kg | 1.1 kg | 1.1 kg | 0.92 kg |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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