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產品介紹
Osaka Vacuum大阪真空 干式真空泵
■ 在大氣壓下連續運行 800 L/min 開路時
排氣速度
■ 可吸入水蒸氣
水蒸氣處理能力：500g/hr
■ 縮短排氣時間 保持恒定的抽速，直到接近
到達終點
■ 風冷型
Osaka Vacuum大阪真空 干式真空泵
對于易發生反應產物積累的器件，該系列采用我們特創的保溫結構和自熱機構，顯著降低反應產物的沉積速率。
?小型
實驗排氣
和負載鎖室的抽真空
、吸附和運輸
、運輸、分析和測量設備，以及加速器的排氣
、密封和密封
?電子
槍源、離子槍源排氣、干燥
、濺射沉積、小爐排氣
等 PVD
設備排氣、用于高真空泵的輔助泵，例如 TMP
| 型 | FR060D 系列 | ||
| 抽速 （L/min） | 最大 | 1000 | |
| 開路作中 | 800 | ||
| 測試極限壓力 （Pa） | 通常 | 1.0 | |
| 氣鎮時 | 2.0 | ||
| 連接格式 | 進氣口 | 千分（NW）40 | |
| 排氣口 | 千分（NW）40 | ||
| 最大蒸汽吞吐量※1 （克/小時） | 500 | ||
| 潤滑油量 （mL） | 90 | ||
| 功耗 （kW） | 在極限壓力下 | 1.1 | |
| 最大 | 1.3 | ||
| 權力 | 電壓 （V） | 200-240 | |
| 頻率 （Hz） | 50/60 | ||
| 相數 | 單相/三相 | ||
| 允許的電壓波動※2 | ±10% | ||
| 電源容量 （kVA） | 3.0 | ||
| 電流 （A） | 單相的 | 11.1 | |
| 三個階段 | 6.5 | ||
| 冷卻方式 | 風冷 | ||
| 近似質量 （kg） | 75 | ||
| 環境溫度 （°C） | 5-40 | ||
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