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產品簡介
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
|---|
省電設計，運行數據、觸地計數、型號信息等可以存儲在主機中 * 即使在大修期間更換控制器，也可以傳輸數據。
產品介紹
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵
省電設計，運行數據、觸地計數、型號信息等可以存儲在主機中 * 即使在大修期間更換控制器，也可以傳輸數據。
各種通信規格：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT
國際標準：NRTL/SEMI-S2/CE
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵
?半導體制造
?電子槍排氣、離子源排氣
?FPD 制造
?表面處理、表面改性
?各種電子元件的制造
?分析、檢測設備
?管材、光學元件的制造
?加速器、放射線設施、聚變研究
?熱處理
?研發
| 進氣法蘭 | VG200 CF200 ISO-B200 型 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 1300 |
| N2（帶保護網） （升/秒） | 1230 | |
| H2 （升/秒） | 1200 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 1,5×10%4 | |
| 極限壓力 | VG/ISO-B/CF （帕） | <1×10-6 / <1×10-7 |
| VG?ISO-B/CF （托） | <7.5×10-9 / <7.5×10-10 | |
| 最大氣體流速※1 | N2 （SCCM） | 3000 |
| 啟動時間 | （分鐘） | 4~5 |
| 停機時間 | （分鐘） | 4~5 |
| 允許的輔助壓力 | （Pa / Torr） | 500 / 3.8 |
| 推薦的輔助泵 | （升/分鐘） | ≧250 |
| 安裝姿勢 | 自由 | |
| 重量 （kg） VG/ISO-B/CF | 34 / 42 | |
| 控制器類型 | TC010MA | |
| 特殊規格 | -化學型 - 對應反應產物 TG-MI - 超低振動規格 TG-ML - 超高真空型 TG-MU - 耐輻射型 TG-MR | |
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