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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 綜合 |
|---|
質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器。
產品介紹
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-3202L-TC
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-3202L-TC
質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器。
由于是利用氣體或液體的質量對流量進行控制，故不受溫度及壓力的影響，可精準地對流體進行控制。質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封材 | |
| Low | 80～100℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
| high | 100~120℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
典型應用場景
1. 半導體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
離子注入（BF?/PH?精確配氣）
2. 新能源領域：
燃料電池氫氣供應（動態響應<50ms）
鋰電材料燒結（N?/O?混合控制）
光伏硅烷沉積（流量波動<±0.3%）
4. 科研實驗：
催化反應研究（多路氣體并行控制）
質譜儀載氣調節（0.1-10mL/min微流量）
環境模擬實驗（溫濕度聯動控制）
質流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數的阻抗線的上流端(RU)，下流端(Rd)及環境溫度補慘式質流傳感器(RD)所構成。當氣體未流入時。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走，造成溫度下降，為維持原本與比的溫差，回路會產生電力對Ru及Rd進行加溫。
產品核心優勢
精準控制能力：
采用自適應PID算法，在10%-100%量程內保持線性度±0.5%
零漂移補償技術，長期穩定性<±0.5%/年
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