聯系電話
高斯摩(成都)國際貿易有限公司
中級會員·1年
具體成交價以合同協議為準
- 聯系人：
- 汪雅琪
- 電話：
- 86-028-87319898
- 手機：
- 13166082288
- 傳真：
- 86-028-85068959
- 地址：
- 四川成都市高新區天府大道中段500-1號東方希望天祥廣場C座4527室
- 個性化：
- www.cosimoinc.cn
掃一掃訪問手機商鋪
產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 綜合 |
|---|
質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器。
產品介紹
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-3472L
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-3472L
質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器。
由于是利用氣體或液體的質量對流量進行控制，故不受溫度及壓力的影響，可精準地對流體進行控制。質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。
核心技術架構
傳感系統：
熱式傳感：基于King's Law原理，采用毛細管式或旁路式設計，溫度分辨率達0.01℃
閥體系統：
壓電瓷閥（響應時間<10ms）
電磁比例閥（壽命>10?次循環）
| 溫度 | 最下壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最小F.S. | 密封件 |
| 5～50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 400SLM | Au |
典型應用場景
1. 半導體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
離子注入（BF?/PH?精確配氣）
2. 新能源領域：
燃料電池氫氣供應（動態響應<50ms）
3. 制藥行業：
生物反應器氣體供應（O?/CO?/N?三聯控）
質流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數的阻抗線的上流端(RU)，下流端(Rd)及環境溫度補慘式質流傳感器(RD)所構成。當氣體未流入時。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走，造成溫度下降，為維持原本與比的溫差，回路會產生電力對Ru及Rd進行加溫。
相關產品
-
￥25180 -
￥25170
-
￥25160 -
￥25150
