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高斯摩(成都)國際貿易有限公司
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- 聯系人：
- 汪雅琪
- 電話：
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- www.cosimoinc.cn
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產品介紹
Osaka Vacuum大阪真空 復合分子泵
?半導體制造
?電子槍排氣、離子源排氣
?FPD 制造
?表面處理、表面改性
?各種電子元件的制造
?分析、檢測設備
?管材、光學元件的制造
?加速器、放射線設施、聚變研究
?熱處理
?研發
* 排放腐蝕性氣體時，請選擇化學相容性 TG-M 或 TG 系列。
Osaka Vacuum大阪真空 復合分子泵
■ 高 H2壓縮比
■ 即使在高背壓下也可以連續運行，排氣性能穩定。
■ 內置控制器
■ 安裝姿勢 360 度靈活
■ 抗振動，即使在泵運行期間也可移動
[ 支持的氣體類型 ]
根據吸入氣體的類型，它可能會使軸承潤滑脂和內部組件變質。 請聯系我們了解兼容的氣體類型。
[ 工作環境溫度 ]
極限壓力保證環境溫度為 10~23°C。 允許環境溫度為 8~38°C。
| 型 | TG240F 系列 | |
| 進氣法蘭 | CF100/ISO-R100 認證 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 240 |
| N2（帶保護網） （升/秒） | 230 | |
| H2 （升/秒） | 160 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4×104 | |
| 極限壓力 | ISO-R（Pa/Torr） | <1×10-6/<7.5×10-9 |
| CF（Pa/Torr） | <5×10-7/<3.8×10-9 | |
| 最大氣體流速※1 | N2 （SCCM） | 70 |
| 啟動時間 | （分鐘） | 5.5-6 |
| 允許的輔助壓力 | （帕/托爾） | 700/5.3 |
| 推薦的輔助泵 | （升/分鐘） | ≧80 |
| 安裝姿勢 | 自由 | |
| 質量 | ISO-R/CF（千克） | 7.3/10.5 |
| 控制器類型 | TC245 （集成）※2 | |
| 輸入電壓 （V） | DC24V 直流 | |
| 最大功率要求 （W） | 75瓦 | |
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