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高斯摩(成都)國際貿易有限公司
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- 聯系人：
- 汪雅琪
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產品介紹
Osaka Vacuum大阪真空 復合分子泵
?半導體制造
?電子槍排氣、離子源排氣
?FPD 制造
?表面處理、表面改性
?各種電子元件的制造
?分析、檢測設備
?管材、光學元件的制造
?加速器、放射線設施、聚變研究
?熱處理
?研發
* 排放腐蝕性氣體時，請選擇化學相容性 TG-M 或 TG 系列。
Osaka Vacuum大阪真空 復合分子泵
靈活的安裝姿勢
緊湊的尺寸
節能
快速啟動
可快速停止排氣
與大氣層入口兼容* 經過驗證的 400 次大氣涌動測試
可以進行串行通信
符合安全標準的 NRTL/SEMI-S2/CE
[ 工作環境溫度 ]
極限壓力保證環境溫度為 10~23°C。 允許環境溫度為風冷 10~32°C，水冷 10~40°C。 極限壓力保證：冷卻水溫度不大于30°C，允許冷卻水溫度為10~35°C。
[ 支持的氣體類型 ]
根據吸入氣體的類型，它可能會使軸承潤滑脂和內部組件變質。 請聯系我們了解兼容的氣體類型。
| 型 | TG220F 系列 | |
| 進氣法蘭 | VG100/ISO-R100/CF100 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 220 |
| N2（帶保護網） （升/秒） | 210 | |
| H2 （升/秒） | 100 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4×102 | |
| 極限壓力 | （帕/托爾） | <1×10-6/<7.5×10-9 |
| 最大氣體流速※1 | （SCCM） | 400 |
| 啟動時間 | （分鐘） | 1-1.2 |
| 停機時間 | （分鐘） | 2.5-3.5 |
| 允許的輔助壓力 | （帕/托爾） | 260/2 |
| 推薦的輔助泵 | （升/分鐘） | ≧80 |
| 安裝姿勢 | 自由 | |
| 質量 | VG/ISO-R/CF（千克） | 5.5/8 |
| 控制器類型 | TC223 系列 | |
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