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高斯摩(成都)國際貿易有限公司
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- 聯系人：
- 汪雅琪
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產品介紹
Osaka Vacuum大阪真空 復合分子泵
?半導體制造
?電子槍排氣、離子源排氣
?FPD 制造
?表面處理、表面改性
?各種電子元件的制造
?分析、檢測設備
?管材、光學元件的制造
?加速器、放射線設施、聚變研究
?熱處理
?研發
* 排放腐蝕性氣體時，請選擇化學相容性 TG-M 或 TG 系列。
Osaka Vacuum大阪真空 復合分子泵
靈活的安裝姿勢、緊湊的尺寸、節能、快速啟動、可快速停止排氣、能夠進入大氣層、可以進行串行通信
[ 工作環境溫度 ]
極限壓力保證環境溫度為 10~23°C。 允許環境溫度為 8~38°C。
[ 支持的氣體類型 ]
根據吸入氣體的類型，它可能會使軸承潤滑脂和內部組件變質。 請聯系我們了解兼容的氣體類型。
| 型 | TG60F 系列 | TG60F-20 系列 | |
| 進氣法蘭 | ISO-R63 CF63 （KF40） 銅※4 | ||
| 抽速 | N2 （升/秒） | 60 | |
| N2（帶保護網） （升/秒） | 55 | ||
| H2 （升/秒） | 22 | ||
| 最大壓縮比 | N2 | 2×107 | |
| H2 | 2×103 | ||
| 極限壓力 | ISO-R/CF （帕） | <5×10-6 / <1×10-6 | |
| ISO-R/CF （托） | <3.8×10-8 / <7.5×10-9 | ||
| 最大氣體流速※1 | 自然風冷 N2 （SCCM） | 9 | |
| 強制風冷 N2 （SCCM） | 20 | ||
| 啟動時間 | （分鐘） | 1.5～2 | |
| 允許的輔助壓力 | （Pa / Torr） | 800 / 6 | |
| 推薦的輔助泵 | （升/分鐘） | ≧25 | |
| 質量※2 | ISO-R / CF（千克） | 3.4 / 5.4 | |
| 控制器類型※3 | TC65 系列 | TC66 系列 | |
| 輸入電壓 | DC24V 直流 | 交流100-230V（±10%） | |
| 最大功率要求 | 120瓦 | 160 伏安 | |
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