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產品簡介
| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數目 | 其他 | 應用領域 | 環保,化工,能源,電氣,綜合 |
作為中等負荷工藝專用的干式真空泵，搭載荏原的節能技術，采用面向自動化工廠制造的優化模塊設計，并進一步實現了小型化和節能。
產品介紹
EBARA荏原 EV-X干式真空泵
作為中等負荷工藝專用的干式真空泵，搭載荏原的節能技術，采用面向自動化工廠制造的優化模塊設計，并進一步實現了小型化和節能。
EBARA荏原 EV-X干式真空泵
通過大范圍的溫度控制，擴大了適用工藝范圍。因同一機型能夠覆蓋多種工藝，能夠優化備用設備的庫存，減少用于維護和培訓的人力時間，并且能夠靈活應對未來的工藝擴展。
●以大幅的溫度控制實現大范圍的工藝覆蓋；
●低能耗、占地?。?/p>
●可耐受腐蝕性氣體（采用標準耐腐蝕材料）；
●適用案例：各種蝕刻以及CVD、灰化、離子注入、外延生長等
核心技術特性
無油設計：采用多級壓縮或爪式/螺桿式轉子結構，通過精密機械密封實現無油運行，避免油蒸氣污染，適合潔凈環境（如半導體、生物實驗室）。
耐腐蝕材料：核心部件使用不銹鋼、陶瓷涂層或特殊合金，可耐受腐蝕性氣體（如酸性、堿性介質）。
高效節能：優化轉子動力學設計，能耗較傳統油式泵降低30%~50%，支持變頻調速（20%~100%流量調節）。
低維護成本：無需定期更換油液，維護周期長達8,000~12,000小時，顯著減少停機時間。
用戶體驗與核心優勢
潔凈無污染：消除油蒸氣反流問題，保護工藝介質與產品質量。
低噪音運行：噪聲水平＜65 dB(A)，適合實驗室及潔凈車間環境。
智能監控：集成壓力傳感器與物聯網模塊，實時監測真空度、溫度、振動，支持遠程報警與故障診斷。
模塊化設計：支持多泵并聯或與分子泵、羅茨泵組成復合真空系統，覆蓋0.1 Pa~1000 Pa寬范圍真空需求。
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