ExLASER® 是一種多功能激光平面瞬時加熱裝置。
可以超快速的溫度上升和下降。
一次均勻加熱 2 英寸基板
直接加熱只能用于被加熱的物體。
可根據工藝進行溫度控制
節能而不加熱大氣
激光照射方法 | 直接型 | 體型 | 高 625 毫米 × 寬 700 毫米 × 深 320 毫米 |
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激光功率 | 高達 1kW | 附屬品 | 專用冷水機組 |
激光波長 | 808 納米 | 額定 | 機身:1P200V20A 冷水機:1P200V15A |
激光幾何形狀 | 廣場 | ||
光學元件(均勻性) | 均質器 (±5%) | 言論 | JST Originality 建模 和開發產品 (FY17) |
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2025.3.19
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