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產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
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應用領域 | 綜合 |
產品信息 特殊長度 可以高速、高精度地測量各種玻璃基板上各種薄膜的膜厚和光學常數。 除了支持包括下一代尺寸在內的大型玻璃基板外,它還支持 LCD、TFT 和有機 EL。 用法 LCD ITO...
日本Otsuka大塚FE-3700高精度膜厚測量系統-成都藤田科技提供
產品信息
特殊長度
可以高速、高精度地測量各種玻璃基板上各種薄膜的膜厚和光學常數。除了支持包括下一代尺寸在內的大型玻璃基板外,它還支持 LCD、TFT 和有機 EL。
用法
LCD
ITO / Glass, PI / OC / Glass, CF / Glass, Resist / Glass
TFT
SiN / a-Si / 玻璃
有機EL
有機EL / ITO / 玻璃
PDP
介電層/玻璃
核心特點:
超大基板全覆蓋:專為下一代尺寸玻璃基板設計(支持超長/超寬規格),可高效測量LCD、TFT、有機EL等大型面板,兼容PI、ITO、SiN、介電層等復雜膜層結構。
納米級精度與秒級速度:采用分光干涉+AI算法技術,單點測量時間<1秒,膜厚精度±0.1nm,光學常數(n/k)解析<0.5%,滿足量產級質量控制需求。
全場景適配性:從研發實驗室到自動化產線,支持在線(inline)集成,可定制XYZ多軸平臺,實現基板全域厚度分布映射與缺陷快速篩查。
高速量產優化:每小時可檢測超3000點,支持多探頭并行測量,大幅提升玻璃基板(如G8/G10)產線效率,降低設備綜合成本(CoO)。
超薄與超厚膜通吃:量程覆蓋1nm至200μm,適用于OC(光學膠)、Resist(光刻膠)等軟膜與硬質涂層的精準厚度控制。
低維護:非接觸式測量設計,無探針損耗,長期使用穩定性達99.8%,搭配遠程診斷功能,減少停機風險。
日本Otsuka大塚FE-3700高精度膜厚測量系統-成都藤田科技提供