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成都藤田科技有限公司
中級會員·1年您現在的位置： 成都藤田科技有限公司>>日本大塚Otsuka>> 日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀
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- 地址：
- 中國四川省成都市郫都區創智東二路58號綠地銀座A座1118
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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
產品信息 特 長 薄膜到厚膜的測量范圍、UV~NIR光譜分析 高性能的低價光學薄膜量測儀 藉由反射率光譜分析膜厚 完整繼承FE-3000機種90%的強大功能 無復雜設定，操作簡單，短時...
產品介紹
日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀-成都藤田科技提供
產品信息
特 點
● 采用分光干涉法
● 搭載高精度FFT膜厚解析系統（第4834847號）
● 使用光學光纖，可靈活構筑測量系統
● 可嵌入至各種制造設備。
● 實時測量膜厚
● 可對應遠程操作、多點測量
● 采用壽命長、安全性高的白色LED光源
測量項目
多層膜厚解析
用 途
光學薄膜（超硬涂層、AR薄膜、ITO等）
FPD相關（光刻膠、SOI、SiO2等）
設備構成
單點型
半導體晶圓的面內分布測量
玻璃基板的面內分布測量
多點型
實時測量
流向品質管理
真空室適用
導線型
實時測量
寬度方向品質管理
測量案例
超硬涂層的膜厚解析
設備構成
單點型
半導體晶圓的面內分布測量
玻璃基板的面內分布測量
多點型
實時測量
流向品質管理
真空室適用
導線型
實時測量
寬度方向品質管理
測量案例
超硬涂層的膜厚解析
核心特點：
微區測量能力：最小光斑直徑3μm，搭配自動XY平臺（200×200mm），實現晶圓、FPD（如OLED、ITO膜）等微小區域的精準厚度分布映射。
跨行業適用性：專為半導體（SiO?/SiN膜）、顯示面板（彩色光阻）、DLC涂層等行業設計，支持粗糙表面、傾斜結構及復雜光學異向性樣品的分析。
安全與擴展性：區域傳感器觸發防誤觸機制，獨立測量頭支持定制化嵌入，滿足在線檢測（inline）與實驗室研發需求。
日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀-成都藤田科技提供
