Chemvak真空干泵維修漏油
葉片泵，干式半導體泵，干式渦旋真空泵和旋轉活塞泵。回到頂部分析儀器高性能真空泵對分析儀器的需求比以往任何時候都大。電維保和維修PFEIFFER Duo 35控制真空泵維修中心專修理與維保和維修PFEIFFER Duo 3M歡
一、故障原因
彈簧損壞：彈簧損壞會導致旋片受力不均勻，進而引發真空泵卡死。
設備裝配不當：設備在裝配過程中如果存在不當操作，如部件安裝錯位、緊固過度等，會導致某局部受力過大，從而引發卡死。
過濾網損壞：過濾網的主要作用是防止金屬屑、顆粒等雜質進入泵腔內。若過濾網損壞，這些雜質會落入泵腔內，導致機械卡死。
端面間隙過小：端面間隙過小會導致泵溫升高。當泵溫過高時，泵內部的部件會發生熱膨脹，進而引發卡死。

泵油變質或結垢：泵油在使用過程中可能會變質或結垢，導致油的黏度不恰當。這種不恰當的黏度會增加泵內部的摩擦阻力，從而引發卡死。
軸和軸套配合過緊：軸和軸套之間的配合如果過緊，會導致缺油潤滑。長時間的缺油潤滑會使泵內部的部件磨損加劇，進而引發卡死。
PFEIFFER TURBO MOLECULAR VACUUM真空泵維修編pfeiffer真空泵品1,000 / 35.35,000 / 176極限真空Pa / mTorr5/37≤1.0 / 7.5≤1.0 / 7.5≤1.0 / 7.5≤1.0 / 7.5≤0.5 / 3.75入口壓力大氣層大氣層大氣層大氣層大氣層大氣層連接尺寸進氣/排氣NW25 / NW25NW25 / NW25NW40 / NW25NW40 / NW25NW40 / NW25NW50 / NW25電機額定功率（kW）0.40.40.750.751.52.

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二、故障診斷步驟
觀察故障現象：首先觀察真空泵是否出現卡死現象，如電動機超負荷運轉、轉不動等。
檢查彈簧和裝配情況：拆開真空泵，檢查彈簧是否損壞，以及設備裝配是否正確。如有異常，及時更換損壞的彈簧或重新裝配設備。
檢查過濾網：檢查過濾網是否損壞或堵塞。如過濾網損壞，應及時更換；如堵塞，應清洗干凈后再重新安裝。
測量端面間隙：使用適當的工具測量端面間隙，確保間隙在規定范圍內。如間隙過小，應修磨轉子旋片以調整間隙。

檢查泵油：檢查泵油的顏色、氣味和黏度。如泵油變質或結垢，應及時更換新的泵油。
檢查軸和軸套：檢查軸和軸套的配合情況，確保配合適當且潤滑良好。如配合過緊或缺油潤滑，應加強油路潤滑或更換合適的軸和軸套。
0-1～10-8Pa，抽氣速率為幾十到幾千升每秒（1L=10-3m3）。渦輪4102分子泵必須在分子流狀態（氣體分子服務程序的信息，或單擊此處 nXDS10iR干渦旋真空泵，無氣鎮，6.7 CFM / 100-127 V，200-

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