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對半導體制造裝置發熱部的冷卻：
單晶片洗凈轉載、印刷機、自動夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機、包裝機、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。
產品簡介
詳細介紹
低溫制冷循環器-25℃～30℃
使用范圍：
對半導體制造裝置發熱部的冷卻：
單晶片洗凈轉載、印刷機、自動夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機、包裝機、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。
對激光裝置發熱部分的冷卻：
激光加工、熔接機的發熱部分、激光標志裝置、發生裝置、二氧化碳激光加工機等。
其他產業用機器發熱部分的冷卻：
等離子熔接、自動包裝機、模具冷卻、洗凈機械、鍍金槽、精密研磨機、射出成型機、樹脂成型機的成型部分等。
低溫制冷循環器-25℃～30℃的發熱部分的冷卻：
電子顯微鏡的光源、ICP發光分光分析裝置的光源部分、分光光度計的發熱部分、X線解析裝置的熱源、自動脈沖調幅器的發熱部分原子吸光光度計的光源等。
產品概述
??節省水資源，可以使用水兌乙二醇混合液進行循環制冷，節約資源；嚴密的循環管路設計，防止循環水污染，延長循環水的使用時間；
??高性能循環泵，可保證每天連續24小時運行；
??PID 溫控技術，內置PT100傳感器航空插件，保證了溫度控制的精確性；
??成熟的無氟制冷技術；
??具有自我診斷功能；冷凍機過載保護；高壓壓力開關，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能；
技術指標：
型號 | LX-250 | LX-0400 | LX-0700 | LX-1000 | LX-1450 | LX-2000 | |
控溫范圍 | -15℃～30℃ | -25℃～30℃ | |||||
壓縮機 | 恩布拉科 | 美國谷輪 | |||||
蒸發器 | 板式冷熱交換器 | ||||||
制冷劑 | R-404A | ||||||
控制器 | 液晶顯示設定溫度和測量溫度，觸摸按鍵輸入 | ||||||
傳感器 | PT100 | ||||||
制冷量 | 0 | 1.5kW | 2.4kW | 4kW | 7.5kW | 10kW | 15.5kW |
-10 | 1kW | 1.5kW | 2.7kW | 6.3kW | 8kW | 12kW | |
-20 | 0.55kW | 0.8kW | 1.5kW | 3.5kW | 5kW | 7.3kW | |
循環泵流 量、壓力 | Max20L/min 0.7BAR | Max20L/min 0.7BAR | Max35L/min 1BAR | Max50L/min 1BAR | Max75L/min 1BAR | Max75L/min 1BAR | |
儲液容積 | 15L | 25L | 30L | 35L | 45L | 60L | |
安全防護 | 具有自我診斷功能；冷凍機過載保護；高壓壓力開關，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。 | ||||||
接口尺寸 | DN-15 | DN20 | DN20 | DN20 | DN20 | DN-20 | |
外型尺寸 | 400*600*1050 | 400*600*1150 | 500*680*1350 | 550*680*1450 | 620*680*1550 | 750*750*1750 | |
重量 | 115kg | 145kg | 180kg | 225kg | 290kg | 340kg | |
電源 | AC220V 50HZ 1.5kW (max) | AC220V 50HZ 2.2kW (max) | AC220V50HZ 3.5kW (max) | AC380V 50HZ 4kW (max) | AC380V 50HZ 5kW (max) | AC380V50HZ 6.5kW (max) | |
外殼材質 | 冷軋板噴塑 | ||||||
控制器選配 | 5.7寸 10寸彩色觸摸屏 溫度記錄 打印 | ||||||
電源選配 | 220V 60HZ 三相，440V～480V 60HZ 三相 | ||||||
噴塑選配 | 特氟龍 | ||||||
防爆選配 | ExdIIBT4或ExdIICT4 | ||||||
