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HORIBA堀場半導(dǎo)體緊湊型加熱汽化玉科供應(yīng)

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號LSC

品       牌HORIBA/堀場

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地深圳市

更新時間:2025-02-19 09:58:23瀏覽次數(shù):118次

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產(chǎn)地類別 進口 應(yīng)用領(lǐng)域 生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,電氣,綜合
HORIBA堀場LSC半導(dǎo)體緊湊型加熱汽化玉科供應(yīng)
HORIBA堀場半導(dǎo)體緊湊型加熱汽化玉科供應(yīng)

HORIBA堀場半導(dǎo)體緊湊型加熱汽化玉科供應(yīng)

HORIBA堀場半導(dǎo)體緊湊型加熱汽化玉科供應(yīng)

LSC 系列


緊湊型加熱汽化

HORIBA 銷量人氣的加熱汽化系統(tǒng)為滿足目前高科技工業(yè)的需求而開發(fā)。該系統(tǒng)可在無需載氣的情況下進行穩(wěn)定的材料汽化,例如 TEOS(流量 600 SCCM)和 H2O(流量 2 SLM)。為方便操作,所有設(shè)備維護都可以在設(shè)備前端進行。

  • 大流量氣化

  • LSC-A100 提供 TEOS 600SCCM 和 H2O 2SLM 等材料的穩(wěn)定氣化

  • 所有設(shè)備維護都可以在設(shè)備前端進行

  • 可選掌上型 PDA 用于監(jiān)控 LSC 的運行狀態(tài),并記錄和分析運行日志

產(chǎn)生的流速

H2O 2SLM,TEOS 600 SCCM(最大)

工作壓力

最大1.33kPa

源罐容量

2.7升

熱調(diào)節(jié)方式

熱調(diào)節(jié)器進行 PID 控制

液面檢測方法

浮動開關(guān)

內(nèi)部質(zhì)量流量控制器

SEC-8400 系列

氣壓閥

波紋管型

液體連接和氣體接觸區(qū)域的材料

SUS316L, PFA

工作溫度

20 至 35 °C

外部輸入

氣壓閥開/關(guān)、質(zhì)量流量控制器流量設(shè)定信號(0 至 5 V DC/0 至 100% FS)、緊急停止信號、自動調(diào)零信號(選項)

外部輸出

溫度報警、液位HH報警、液位信號(H、M、L)、READY信號、質(zhì)量流量控制器流量輸出信號((0~5V DC/0~100%FS)、恒溫槽內(nèi)風(fēng)扇停止報警、閥門電壓監(jiān)視器(選配)

電源

AC100V、單相50/60Hz、1.5kVA

其他

自動充電系統(tǒng):可連接到LU系列。



* 流量控制范圍根據(jù)液體的種類而變化。

* SCCM 和 SLM 是表示氣體流速(0°C、101.3 kPa 時為 mL/min、L/min)的符號。


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