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HORIBA堀場寬范圍壓不敏感質量流量模塊
HORIBA堀場寬范圍壓不敏感質量流量模塊
D700WR 安裝了一個新的限流器，專為大范圍控制應用而設計，具有基于 CRITERION™ 技術的高精度性能。D700WR 可以將流量控制在滿量程的 0.1% 以下，這有助于用戶優化氣體輸送系統的靈活性。例如，如果系統安裝了多個 MFC 進行高流量和低流量控制，則用戶可以減少 MFC 的數量，并將同一位置的另一個 MFC 用于不同的目的。
0.1~100%寬范圍控制和低流量的高精度
為流程優化提供靈活性
≤ 500ms 升壓響應
提供高生產率和更好的過程性能
堅固的 CIP 壓力傳感器
減少大批量生產中的停機時間和人工成本
PFA 噴嘴的閥門關閉和抗腐蝕性提高 10 倍
堅固耐用，顆粒風險更低，減少停機時間并優化產量
狀態監控器功能
提供更多內部數據，實現更智能的故障預測
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