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當前位置:北京盈思拓科技有限公司>>薄膜、塊體樣品制備>>ALD原子層沉積設備>> PICOSUN R-200高級型ALD系統

高級型ALD系統

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產品型號PICOSUN R-200

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更新時間:2024-11-18 15:50:00瀏覽次數:344次

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        PICOSUN™ R-200高級型ALD系統是ALD科研設備市場的,在擁有百用戶。它已經成為一些創新公司和研究機構的研發工具。

 

        靈活的設計確保沉積高質量的ALD薄膜,超靈活的系統配置也能滿足用戶未來的需求和應用。的熱壁設計、獨立的前驅體管路和特殊的載氣設計,使得無顆粒沉積廣泛應用于平面晶圓、3D基片和所有納米尺度的材料。即使在挑戰性的多孔材料、超高深寬比和納米顆粒表面沉積,系統都能實現的均勻性,這些都歸功于我們的技術Picoflow™。Picosun™R-200高級型系統配備功能強大和易于更換的液體、氣體和固體前驅體源。高效率和擁有的遠程等離子選項可以沉積金屬而不發生短路,不存在等離子體損壞的危險。系統可集成手套箱,超高真空系統、手動或半自動加載系統,集群系統,粉末反應腔,卷對卷反應腔和各種在線分析系統,使您的研究變得高效和靈活。即使將來您改變研究領域,它依就會是您幫手!

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