UL1000Fab氦氣檢漏儀是工業或半導體環境中經濟型氦氣真空泄漏檢測的標準。

通過儀器的干式泵技術，可以消除被測部件或設備被碳氫化合物或顆粒污染的可能性。UL1000FAB在高性能、超高穩健性和經濟性之間提供了的性價比。它提供的10-12mbar·l/s檢測極限，具備合理的短抽氣時間和響應時間的特點。緊湊的設計提供了高度的機動性，方便進入空間有限的維修區域。可選的背景本底抑制（iZERO）功能能夠在2秒內實現低于現有背景本底水平狀態持續進行泄漏測試。

┃ 典型應用

• 對清潔度要求嚴苛的工業真空設備制造

• 在將真空組件或子組件安裝到現有工具中之前

• 真空工具的維護工作，無論是否有泵的支持

• 工藝氣體系統的檢查和安裝

• 半導體、平板顯示器或太陽能電池制造

┃ 設備特點

• 通過縮短抽氣時間和響應時間加快泄漏檢測工作

• 通過使用可選的背景抑制（izero），避免需要進行多次泄漏測試

• 通過緊湊的設計方便進入空間有限的維護區域

• 通過耐用的兩個熱絲離子源（三年保修）和逆流式真空系統實現低擁有成本(TCO)

• 通過可旋轉顯示、聲音和燈光泄漏提示以及可選的遠程控制降低應用難度

• 通過內置泄漏測試和自動校準程序實現低成本維護