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實驗室真空變溫電學測試平臺，外部可移動探針臂精準點針，為真空變溫實驗提供解決方案，同時可集成顯微鏡、光譜系統進行材料表征。
┃ 設備特點
溫度范圍 -190℃～400℃，RT~1000℃
溫度穩定性 ±0.05℃
樣品區 Φ26mm
探針數量 4~7個
電學接頭 BNC 三同軸BNC 可選
臺面電位 電接地 三同軸 背電極 可選 探針臂行程 粗調 20mm*20mm，微調 10mm*10mm*3mm，精度＜10um
適配儀器 顯微鏡 光譜儀 鐵電 介電 電化學工作站 磁場 電學源表 半導體分析儀 DLTS
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