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氧氣氣體質量流量控制器?氣體質量流量控制器（MFC）是一種用于精確測量和控制氣體質量流量的設備?。

該設備的工作原理基于流體力學和傳熱原理，通過質量流量傳感器測量氣體流經管道時的壓差和溫度變化，進而計算出氣體的質量流量，并通過控制閥門調節氣體流量，使其保持在設定的范圍內?。

技術參數

主要參數

介質要求 潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測量范圍  0.5%F.S.（1:200）

控制范圍  1%-100% FS.（1:100）

準確度  ±1% F.S.

重復精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

控制響應時間<3 秒

預熱時間 5 min（T95），30 分鐘最佳

閥門 常閉式

• 最大工作壓力

  3 MPa（30bar）
• 工作壓差范圍

  0-1 MPa
• 工作溫度范圍

  -20~65℃（環境和氣體）
• 濕度范圍

  0 ~ 98%無凝露
• 氣路接頭類型

  卡套、VCR、快插、快擰（可選）
• 氣體接觸材質

  氟橡膠、304/316不銹鋼
• 密封材質

  氟橡膠 FKM
• 防護等級

  IP40
• 安裝方式

  水平安裝方向校準
• 固定孔

  M4 ? 5mm
• 重量

  0.96kg