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MFM毛細(xì)管熱質(zhì)量流量計(jì),直接測量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質(zhì)量流量。

產(chǎn)品特點(diǎn)

精準(zhǔn)質(zhì)量流量測量/控制

快速響應(yīng)、高重復(fù)性

不受溫度和壓力的影響

低壓損可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟(jì)有效的解決方案

主要參數(shù)

介質(zhì)要求  潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程  10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測量范圍  0.5%-100% F.S.

準(zhǔn)確度  ±0.5% F.S.

重復(fù)精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

分辨率  0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）

傳感器響應(yīng)時(shí)間<1s

預(yù)熱時(shí)間 5 min（T95），30 分鐘最佳

機(jī)械特性

最大工作壓力  3 MPa（30bar）

工作壓差范圍 0-1 MPa

工作溫度范圍  -20~65℃（環(huán)境和氣體）

濕度范圍  0 ~ 98%無凝露

氣路接頭類型  快插、快擰、卡套、VCR（可選）

氣體接觸材質(zhì)  氟橡膠、316不銹鋼

密封材質(zhì)  氟橡膠 FKM

防護(hù)等級   IP40

安裝方式  水平安裝方向校準(zhǔn)

固定孔 M4 ? 5mm

重量 0.82kg