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數顯氣體質量流量計 MFM毛細管熱質量流量計,直接測量較低流量范圍內的清潔氣體和混合氣體的質量流量。

產品特點

精準質量流量測量/控制

快速響應、高重復性

不受溫度和壓力的影響

低壓損可選

集成顯示器可選

經濟有效的解決方案

主要參數

介質要求

潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程   10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測量范圍   0.5%-100% F.S.

準確度  ±0.5% F.S.

重復精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

分辨率  0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）

傳感器響應時間<1s

預熱時間  5 min（T95），30 分鐘最佳

機械特性

最大工作壓力   3 MPa（30bar）

工作壓差范圍   0-1 MPa

工作溫度范圍  -20~65℃（環境和氣體）

溫度范圍   0 ~ 98%無凝露

氣路接頭類型  快插、快擰、卡套、VCR（可選）

氣體接觸材質  氟橡膠、316不銹鋼

密封材質  氟橡膠 FKM

防護等級  IP40

安裝方式  水平安裝方向校準

固定孔   M4 ? 5mm

重量   0.82kg

電氣和通訊

電氣連接接口類型   DB-9 公頭

模擬信號   0 - 5 VDC，4 - 20 mA（可定制）

輸入輸出阻抗

輸入阻抗>10MΩ，輸出阻抗<1KΩ

模擬數據更新頻率  200Hz

數字信號  RTU （RS232， RS485），CAN

通信速率  9600（默認），14400，19200，38400，56000，57600，115200 bps（可修改）

電源  15-40 VDC，<200 mA

顯示更新頻率  50Hz

模擬信號精度  ±0.05%F.S.