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高精度氣體流量計MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。
被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構，即使環境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩定的流量控制。
產品特點
精準質量流量測量/控制
快速響應、高重復性
不受溫度和壓力的影響
工作壓差范圍大：0-1MPa
低壓損可選
全金屬比例閥可選
集成顯示器可選
經濟有效的解決方案
主要參數
介質要求 潔凈干燥氣體
氣體種類 98+氣體可選
量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm
0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
測量范圍 0.5%F.S.（1:200）
控制范圍 1%-100% FS.（1:100）
準確度 ±0.5% F.S.
重復精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
控制響應時間<3 秒
預熱時間 5 min（T95），30 分鐘最佳
閥門 常閉式
MFC330氣體流量計廣泛應用于以下領域：
半導體制造：用于控制工藝氣體（如氮氣、氬氣、氫氣）的流量。
光伏產業：在薄膜太陽能電池制造中，精確控制氣體流量。
化工行業：用于反應氣體流量控制，確保反應過程穩定。
生物制藥：在發酵、細胞培養等過程中，控制氧氣、二氧化碳等氣體流量。
環境監測：用于氣體采樣和分析系統，確保采樣流量準確。
實驗室研究：在科研實驗中，精確控制氣體流量。
食品和飲料行業：用于氣體混合和包裝過程中的流量控制。
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