氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱 MFC）是一種用于精確控制氣體流量的儀器。其工作原理如下：
流量傳感器
MFC 內(nèi)部通常采用熱式質(zhì)量流量傳感器。這種傳感器基于熱傳導(dǎo)原理工作。它有兩個(gè)溫度傳感器（RTD，電阻溫度探測(cè)器）和一個(gè)加熱元件。
加熱元件位于兩個(gè)溫度傳感器中間。當(dāng)氣體流過時(shí)，帶走熱量，根據(jù)熱量傳遞的原理，氣體流速不同，帶走熱量的速度也不同，進(jìn)而導(dǎo)致兩個(gè)溫度傳感器之間產(chǎn)生溫度差。
通過測(cè)量這個(gè)溫度差，可以計(jì)算出氣體的質(zhì)量流量。
流量控制閥
測(cè)量流量
流量控制
MFC 的控制電路將接收到的流量信號(hào)與設(shè)定值進(jìn)行比較。如果測(cè)量流量與設(shè)定流量不一致，控制電路會(huì)向流量控制閥發(fā)送信號(hào)。
流量控制閥根據(jù)控制信號(hào)調(diào)整閥門開度。如果測(cè)量流量小于設(shè)定流量，閥門會(huì)開大；如果測(cè)量流量大于設(shè)定流量，閥門會(huì)關(guān)小。
這種反饋控制機(jī)制不斷循環(huán)，確保實(shí)際氣體流量與設(shè)定流量保持一致，從而實(shí)現(xiàn)精確的流量控制。
MFC 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、化工、制藥、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域，這些行業(yè)對(duì)氣體流量的精確控制有很高的要求。例如，在半導(dǎo)體制造過程中，精確的氣體流量控制對(duì)于保證芯片質(zhì)量至關(guān)重要。
總之，氣體質(zhì)量流量控制器通過先進(jìn)的傳感器技術(shù)和精密的控制閥門，實(shí)現(xiàn)了對(duì)氣體流量的高精度控制。
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