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當前位置：研啟科學儀器（東莞）有限公司>> Nikon NSR G線光刻機
產品型號
品 牌
廠商性質代理商
所 在 地深圳市
更新時間：2024-10-22 16:34:18瀏覽次數：150次
詳情介紹
Nikon NSR G線光刻機
1.Nikon NSR G線步進式光刻機
光源波長436nm
分辨率優于0.65µm
主要用于2寸、4寸、6寸生產線
廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域
2.產品詳情
主要技術指標
分辨率0.65µm
N.A.0.6
曝光光源436nm
倍率5:1
曝光現場15mm*15mm
17.5mm*17.5mm
對準精度140nm
3.更多服務
提供中英文軟件及2"、4"、6"設備硅片改造
常年提供所有備件、耗材
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