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當(dāng)前位置：研啟科學(xué)儀器（東莞）有限公司>> 熱拆鍵合機(jī)
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產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地深圳市
更新時(shí)間：2024-10-22 15:26:03瀏覽次數(shù)：119次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 化工儀器網(wǎng)v 該系統(tǒng)是用于分離晶圓與載體（熱拆鍵合）的FOWLP技術(shù)，通過釋放熱量將載體剝離
v FOWLP優(yōu)化熱拆鍵合技術(shù)
v 全自動(dòng)脫膠
v FOWLP晶圓翹曲控制和監(jiān)測(cè)
v FOWLP晶圓正面標(biāo)記
v 全自動(dòng)翹曲矯正模式
v 晶圓尺寸：300/330 mm
v 溫度控制：20~240℃ ±2℃
v 裝載和卸載：手動(dòng)/全自動(dòng)
v 翹曲處理能力：輸入翹曲：10 mm 矯正后的翹曲：<1 mm
v 晶圓傳輸系統(tǒng)：三溫?zé)o接觸傳輸
v ESD控制：帶有自動(dòng)反饋傳感器的電離器
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