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當前位置:研啟科學儀器(東莞)有限公司>> 減薄機
產品型號
品 牌
廠商性質代理商
所 在 地深圳市
更新時間:2024-10-22 15:24:14瀏覽次數:197次
詳情介紹
v 可根據客戶需求定制化各類工作臺,滿足各類半導體材料的研削薄化工藝
v 晶圓尺寸:8英寸
v 砂輪規格:?203(OD)mm
v 砂輪軸轉速范圍:0~6000 RPM
v 工作臺轉速:0~400 RPM
v Z軸行程:130mm
v Z軸進給速度:0.1~1000 um /sec 可選配最小0.01um/sec
v 厚度在線測量分辨率:0.1um
v 厚度在線測量重復精度:±0.001 mm
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