●●●●爐體結(jié)構(gòu)：PECVD系統(tǒng)爐采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，可有效降低殼體表面溫度；爐膛采用高純氧化鋁纖維材料，減少能量損失；內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層，可以提高反射率及設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命，帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)，開(kāi)門(mén)斷電，提高實(shí)驗(yàn)安全性；爐子的底部安裝有一對(duì)滑軌，可使?fàn)t子從爐管的一側(cè)滑動(dòng)到另一側(cè)，以實(shí)現(xiàn)快速加熱和快速冷卻。

●控溫系統(tǒng)：包含一款YD858型溫度控制器；PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化50段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能；控溫精度±1℃；默認(rèn)DB9 PC通信連接端口；可選購(gòu)電腦溫度控制軟件（用于YD858P系列控制器）用于控制升溫曲線(xiàn)和導(dǎo)出數(shù)據(jù)。

●爐管：高純石英管φ100*1000mm，鍍鉻鋼制成的雙滑軌，手動(dòng)滑軌長(zhǎng)度1400mm。

●真空法蘭：

◎配有一套304不銹鋼密封法蘭，采用硅膠密封圈密封。

◎不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端，便于組裝。

◎左端法蘭采用1/4英寸的卡套接頭，用于通入反應(yīng)氣體。

◎一個(gè)機(jī)械壓力表安裝在左端法蘭上，用于監(jiān)控管道壓力。

◎法蘭端提供Φ6.35mm卡套進(jìn)氣口，出氣端配有獨(dú)立的Φ9.2mm排氣口和球閥，設(shè)備預(yù)留KF25抽氣口和KF16真空計(jì)連接口，可連接真空組件。

●真空組件：

◎配齊真空泵1臺(tái)（抽速≥16m³/h，真空度≤5.0X10-1Pa）

◎電阻真空計(jì)1套

◎手動(dòng)擋板閥1個(gè)

◎波紋管1根

◎油霧過(guò)濾器1套

◎卡箍（型號(hào)：KF25）≥3個(gè)，以及相應(yīng)連接件

●極限真空度：≤1Pa（冷態(tài)空載）

●進(jìn)氣：

◎配浮子流量計(jì)1套，量程可選，安裝在設(shè)備上；

◎氣瓶配備氣體減壓閥1套

●標(biāo)準(zhǔn)配件：石英管 ≥1 支，莫來(lái)石管堵 ≥1 對(duì)，不銹鋼法蘭 ≥1 套，硅膠密封圈 ≥2 套，高溫手套 ≥1 副，爐鉤 ≥1 支

●認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)及核心零部件：整機(jī)核心部件均符合CE、UL、MET等認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)；核心零部件有ABB電器元件，UL認(rèn)證電線(xiàn)、電纜，歐米茄，宇電、歐陸儀表等。