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Batch式高真空蒸發設備 EI 系列是一種專門用于在基板上形成金屬膜或氧化物膜的設備。該設備具有以下顯著特點和優勢:
高真空環境:EI 系列設備能夠提供高真空環境,確保蒸發過程中的膜層質量。高真空條件下,雜質含量減少,膜層純凈度更高,適用于高精度的研究開發以及少量生產。
多種材料蒸發:該設備可以蒸發多種材料,包括金屬、ITO(銦錫氧化物)以及二氧化硅等。這使得EI系列設備在不同應用領域中具有廣泛的適用性,從電子元件到光學元件的制造,都可以輕松應對。
集中控制:通過操作面板進行集中控制,實現了抽真空、成膜等作業內容的集中自動化操作。操作界面友好,易于設置和調整工藝參數,提高了工作效率和操作的便捷性。
適用于研究開發及少量生產:EI 系列設備特別適合于實驗室研究開發和少量生產需求。其靈活的工藝參數調整能力和高質量的成膜效果,使其在新材料研究和工藝開發中成為理想選擇。
蒸發材料
金屬:EI 系列設備能夠蒸發多種金屬,如鋁、銅、金、銀等,用于制造高導電性和高反射率的金屬膜。這些金屬膜廣泛應用于電子、光學和裝飾性領域。
ITO(Indium Tin Oxide):ITO 膜具有優異的導電性和透明性,廣泛用于制造透明導電膜,如觸摸屏、液晶顯示器和太陽能電池。EI 系列設備能夠精確控制ITO 膜的厚度和均勻性,確保其優良的電學和光學性能。
二氧化硅(SiO2):二氧化硅膜常用于制造絕緣層和光學鍍膜。EI 系列設備在蒸發SiO2 方面具有高穩定性,能夠形成均勻、致密的膜層,適用于半導體和光學元件的制造。
應用場景
電子行業:在電子元件制造中,EI 系列設備可以用于制造各種金屬連接膜和透明導電膜,提升元件性能和可靠性。
光學行業:在光學元件制造中,該設備可以蒸發高質量的二氧化硅膜和金屬反射膜,增強光學性能和耐用性。
研究開發:在新材料和新工藝的研究開發中,EI 系列設備提供了高度的靈活性和精確控制,是科研人員的理想工具。
Batch式高真空蒸發設備 EI 系列憑借其高性能、多功能性和易操作性,成為科研和生產中的重要設備。無論是新材料研究還是少量生產需求,該設備都能提供可靠的解決方案。