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寫真化學膜厚測量裝置
標準型號可測量膜厚對象：
抗蝕劑厚度
多孔膜
ITO
多晶硅
電池電極
玻璃粘合晶片
端點檢測
貼合晶片等
自動映射膜厚儀
可測量膜厚對象：
抗蝕劑厚度
貼合晶片
多孔膜
ITO
多晶硅
電池電極
玻璃粘合晶片
帶圖案晶片等
分為：標準型號、紅外透射式型號、自動映射膜厚儀、成像膜厚儀
寫真化學膜厚測量裝置
通用型膜厚監視器(標準型號)
● 可用作端點監視器
● 也可以對應粘接劑層、玻璃層等通常較難測量的材料
通用型膜厚監視器(紅外透射式型號)
● 對應反射弱的薄膜材料
● 可對應卷對卷測量
自動映射膜厚儀
● 除了高速自動映射、等高線、3D圖顯示之外，還自動解析直方圖等統計信息
● 標準對應φ100～300mm的圓形晶圓，也可對應方形被測物等特殊形狀，可選配定制載物臺板
● 可對應選配項目中的自動校準
成像膜厚儀
● 微細二維膜厚分布原位的可視化
● 通過在GUI上區域，計算微小區域的膜厚
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