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| 應用領域 | 環保,能源,電子,電氣,綜合 |
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日本musashino高真空2軸旋轉導入機電機驅動 ICF114 特點介紹
采用鋁合金制成，重量輕。
鋁制法蘭型根據 ICF 標準進行鏡面拋光和離子鍍處理。
內軸和外軸可獨立旋轉。
規格與超高真空兼容。
可由電機驅動。
配有夾緊機構。
■ Aluminum alloy composition, lightweight design.
■ Ion plating process is applied to mirror finished aluminum flangeaccording to the ICF standard
■ Inner and outer shafts can rotate independently.
采用鋁合金制成，重量輕。
鋁制法蘭型根據 ICF 標準進行鏡面拋光和離子鍍處理。
內軸和外軸可獨立旋轉。
規格與超高真空兼容。
可由電機驅動。
配有夾緊機構。
日本musashino高真空2軸旋轉導入機電機驅動 ICF114 規格參數
真空連接法蘭密封方式真空密封型泄漏量Le Akage速率允許加熱溫度最大溫度ICF114波紋管方式波紋管type1.3 10-11Pa·m3/sec或更少（1x 10-10Torr·R/sec or less）內軸外軸內軸外軸120°C或更小（AR法蘭）250°C或更小（SUS法蘭）φ5mmφ20mm2.1。
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