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當前位置：深圳秋山工業設備有限公司>>實驗設備>>研磨機>> RAD-3520F/12Adwill-Global全自動研磨用保護膠帶貼合機
| 應用領域 | 環保,能源,電子,電氣,綜合 |
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Adwill-Global全自動研磨用保護膠帶貼合機 RAD-3520F/12 特點介紹
擴充暢銷機型“RAD-3510F/12"的功能，實現高性能、省空間化。
1. 標準的雙裝載端口
2. 具有掃片功能的FOUP裝載端口作為標準功能提供
3. 設備占地面積約縮小30%
4. 可實現70片/小時的高生產能力 選用高速規格時，可實現最大100片/小時的生產能力
5. 每卷膠帶的晶圓貼膜數量最多可提高16％※膠帶長度為100m/卷，晶圓尺寸為300mm（12英寸）直徑時
6. 可搭載多種選配功能 ESD措施、各種清潔功能、自動換刀等
Adwill-Global全自動研磨用保護膠帶貼合機 RAD-3520F/12 規格參數
A．晶圓裝載、掃片、取片
通過掃描檢測晶圓盒內的晶圓。根據其檢測結果，由多軸機械臂取片，并運輸至校準單元。
B．晶圓校準
晶圓以V形缺口或平邊為基準，以非接觸方式對晶圓的圓心進行校準后，運輸至貼膜臺。
C．研磨用表面保護膠帶貼合
利用roll-to-roll方法，使用壓輥進行研磨用表面保護膠帶貼合。利用最新的TTC機構，實現低張力貼合。
D．膠帶切割
通過3D運動控制(x、y、θ)，沿晶圓外周進行膠帶切割。
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