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| 應用領域 | 環保,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
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美國Entegris流通式壓力傳感器耐化學腐蝕 Entegris 4210/4250型 特點介紹
4210型
壓力 無論您的目的是自動化、過程控制還是安全，您的測量都必須干凈、準確且可靠。為了滿足半導體行業的需求，
Entegris 將最新的電子傳感器技術與高度清潔的材料相結合，生產出能夠對工藝變化進行高度控制的先進產品。
在高純度應用中可靠測量腐蝕性化學品和 CMP 漿料中的壓力
所有裝置在發貨前均經過功能測試，精度為滿量程的 1%
沒有活動部件，也沒有填充液，因此不會受到污染
4210 型采用流通式設計，可減少死體積并降低污染風險
接液部件采用 PTFE、PFA、CTFE 和 Kalrez®，適用于高純度應用
行業標準 Flaretek® 連接減少了池化和占地面積。它還允許靈活的系統設計并且易于安裝。
4250型
NT™ 壓力傳感器配有耐化學腐蝕的藍寶石傳感器，可測量負壓和正壓。
該傳感器沒有填充液或隔膜，在其他非金屬傳感器無法處理的情況下具有高度可靠性，精度為滿量程的 1%。
氫氟酸和負壓應用
使用耐化學腐蝕的藍寶石壓力傳感器高精度、可靠地測量壓力
監控過程條件可提高安全性和系統性能
發貨前經過 100% 性能測試，精度為滿量程的 1%
易于連接到電子顯示/監控系統
無活動部件，無填充液，因此無污染
流通式設計最大限度地減少死體積并降低污染風險
美國Entegris流通式壓力傳感器耐化學腐蝕 Entegris 4210/4250型 規格參數
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