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| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 3千-6千 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環保,能源,電子,電氣,綜合 |
日本YUTAKA絕壓型壓力控制器設備L88系列 L88SS 特點介紹
L88系列是針對半導體制造氣體B2H6而設計的二級減壓結構的產品。
作為抑制B2H6減壓生成產物的措施，中間壓力為3MPa，調節閥結構為平密封型，采用PCTF調節閥座，抑制了缺陷。它也非常適合絕熱膨脹變化較大的 NF3。
功能高壓
焊接規范金屬墊片配件調節閥結構平密封式散裝氣體兼容氣體7 種特殊高壓氣體
腐蝕性氣體
有毒氣體以外的氣體 純
氣體設備標準流量～60NL/分鐘
日本YUTAKA絕壓型壓力控制器設備L88系列 L88SS 規格參數
源壓力波動 入口壓力：每0.1MPa，調節壓力變化量0.00075MPa
承受壓力 22.2MPa（進口側）
CV值 0.08
工作溫度 -10~+40℃
外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法）
內部容積 12.58cm（不含3個壓力表及接頭）
大量的 約2.4公斤
1/4" 面對面密封接頭尺寸（公頭）…約 88mm
1/4" 面對面密封接頭尺寸（母頭）…約 105mm
[備注]
■ 壓力表連接接頭的標準尺寸和形狀為1/4" 外螺紋面密封接頭。
■ 進出口接頭的類型、尺寸和形狀（外螺紋、內螺紋）組合如圖所示。可以從以下所示的產品型號代碼表中進行選擇。
■ UJR®、VCR® 和CVC® 以外的接頭的面對面尺寸可能與標準面對面尺寸不同。
產品編號代碼
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