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深圳秋山工業設備有限公司
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當前位置:深圳秋山工業設備有限公司>>過程控制儀器>>壓力控制器>> L20SS/L20SH/L20SS-CO日本YUTAKA半導體用壓力控制設備L20系列

日本YUTAKA半導體用壓力控制設備L20系列

參   考   價: 3500

訂  貨  量: ≥100 臺

具體成交價以合同協議為準

產品型號L20SS/L20SH/L20SS-CO

品       牌其他品牌

廠商性質經銷商

所  在  地深圳市

更新時間:2024-10-09 07:15:43瀏覽次數:122次

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產地類別 進口 價格區間 3千-6千
應用領域 環保,能源,電子,電氣,綜合
日本YUTAKA半導體用壓力控制設備L20系列 L20SS/L20SH/L20SS-CO

L20系列是專為高壓半導體工藝制造氣體而設計的產品。基本結構是外部金屬密封和焊接接頭,使其成為具有優異的外部泄漏和顆粒性能的產品。此外,我們還提供多種選擇來容納各種高純度氣體,使其成為氣瓶柜的理想選擇。

日本YUTAKA半導體用壓力控制設備L20系列 L20SS/L20SH/L20SS-CO 特點介紹


L20系列是專為高壓半導體工藝制造氣體而設計的產品。基本結構是外部金屬密封和焊接接頭,使其成為具有優異的外部泄漏和顆粒性能的產品。

此外,我們還提供多種選擇來容納各種高純度氣體,使其成為氣瓶柜的理想選擇。


日本YUTAKA半導體用壓力控制設備L20系列 L20SS/L20SH/L20SS-CO 規格參數


入口壓力 14.8MPa以下(最大19.6MPa) 

調節壓力 Max.0.99MPa

(范圍規格:0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa) 

氣源壓力波動 入口壓力:每0.1MPa,調節壓力變化量0.00021MPa 

承受壓力 22.2MPa(進口側) 

CV值 0.09 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He(真空法) 

內部容積 4.67cm(不含3個壓力表及接頭) 

大量的 約1.29公斤 

主體SUS316L 

調節閥桿/閥座SUS316L 哈氏合金®C-22 SUS316L 

隔膜哈氏合金®C-22 SUS316L 

閥座PCTFE(Daiflon®) 

緩沖彈簧不銹鋼316 哈氏合金® 不銹鋼316 

壓力表連接密封墊片你 不銹鋼316 

非氣體接觸部分 

閥蓋 (A)不銹鋼316 

發動機罩 (B)黃銅(鍍鎳) 

帽SUS304 


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