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日本syscom納米表面粗糙度形狀測量儀分析 TN-A1 特點介紹
非常適合精密表面加工、CMP 加工的質量評估和晶圓檢查
NanoSeven的光學配置采用光學外差干涉作為測量原理，通過分析兩束光束之間的相位差獲得的電信號進行測量。安裝時無需隔振臺或真空設備，高度分辨率可達0.1 nm以下。幾乎無耗材，運行成本低。
縮短測量時間：幾秒鐘內即可測量Ra，提高良率
價格設定低：維護方便，幾乎無耗材
無需隔振臺，因此您可以安裝在任何地方
非接觸式測量：使用激光進行非接觸式測量
寬范圍測量：即使是大樣品也可以自動進行多點測量
操作簡單：從測量到保存結果、輸出報告全自動
高分辨率：采用光學外差干涉法，分辨率為0.1nm
日本syscom納米表面粗糙度形狀測量儀分析 TN-A1 規格參數
測量方法光外差干涉測量法
高度分辨率0.1納米
參考高度測量范圍0.5nm～300nm
標準出行金額X軸25nm / Y軸25nm
光源氦氖紅色激光（633nm）
物鏡放大倍數：20X，NA0.4
本體外形尺寸寬313×深614×高428
體重約27公斤
軟件虛擬儀器
夾具導電PET 180mm x 180mm
縮短測量時間：幾秒鐘內即可測量Ra，提高良率
價格設定低：維護方便，幾乎無耗材
無需隔振臺，因此您可以安裝在任何地方
非接觸式測量：使用激光進行非接觸式測量
寬范圍測量：即使是大樣品也可以自動進行多點測量
操作簡單：從測量到保存結果、輸出報告全自動
高分辨率：采用光學外差干涉法，分辨率為0.1nm
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