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深圳秋山工業設備有限公司
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日本進口YUTAKA半導體用壓力控制設備高純度氣體用調節器L20系列

時間:2024/5/7閱讀:182
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日本進口YUTAKA半導體用壓力控制設備高純度氣體用調節器L20系列


L20系列是專為高壓半導體工藝制造氣體而設計的產品?;窘Y構是外部金屬密封和焊接接頭,使其成為具有優異的外部泄漏和顆粒性能的產品。此外,我們還提供多種選擇來容納各種高純度氣體,使其成為氣瓶柜的理想選擇。

功能高壓

焊接規范金屬墊片配件調節閥結構針型兼容氣體7種特殊高壓氣體

腐蝕性氣體有毒氣體

以外的氣體標準流量~60NL/分鐘

入口壓力 14.8MPa以下(最大19.6MPa) 

調節壓力 Max.0.99MPa

(范圍規格:0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa) 

氣源壓力波動 入口壓力:每0.1MPa,調節壓力變化量0.00021MPa 

承受壓力 22.2MPa(進口側) 

CV值 0.09 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He(真空法) 

內部容積 4.67cm(不含3個壓力表及接頭) 


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