ICP質譜儀，全稱電感耦合等離子體質譜儀（Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry，簡稱ICP-MS），是一種高靈敏度、高精確度的分析儀器，用于元素分析和定量測量。以下是對ICP質譜儀的詳細介紹：基本原理
ICP-MS是通過ICP產生高溫等離子體，使樣品中的元素電離成離子，然后通過質譜儀對這些離子進行質量分析，從而實現對樣品中元素的定性與定量分析。其基本原理一般包括以下四個步驟：
- 樣品引入：樣品通常以溶液形式，通過霧化器轉化為氣溶膠狀態，然后被引入到ICP的中心。
- 等離子體形成：在ICP系統中，通過射頻能量激發氬氣產生等離子體，形成高溫環境（約6000~10000K），使樣品中的元素電離。
- 離子提取：形成的離子通過接口裝置被引入到質譜儀中。
- 質量分析：質譜儀根據離子的質荷比（m/z）進行分離，并檢測不同質量的離子，從而實現對元素的定性與定量分析。
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