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高速TDI-sCMOS相機 Dhyana 9KTDI（簡稱：9KTDI）背照式TDI 相機基于*的sCMOS 背照式減薄和TDI 時間積分技術(shù)，采用可靠穩(wěn)定的制冷封裝技術(shù)，覆蓋從180nm紫外到1100nm近紅外寬光譜，有效提升紫外TDI線掃、弱光掃描檢測能力，旨在為半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測、半導(dǎo)體材料缺陷檢測、基因測序等應(yīng)用提供更高效率、更穩(wěn)定的檢測支持。

180nm-1100nm寬光譜

高速TDI-sCMOS相機 Dhyana 9KTDI 采用背照式 sCMOS 技術(shù)，已驗證的響應(yīng)波段可覆蓋180 nm - 1100 nm區(qū)域。256級 TDI技術(shù)可以大幅提升紫外（193nm/266nm/355nm等波段）、可見光、近紅外等弱光成像信噪比，提高設(shè)備檢測精度。

510kHz @ 9K 超高速線掃

Dhyana 9KTDI搭載CXP-12高速接口，支持1 x CXP-12 / 2 x CXP-12 / 4 x CXP-12靈活配置。 相機行頻最高可達(dá)9K @ 510 kHz，數(shù)據(jù)通量幾乎是目前主流8K線陣相機的6倍，背照式 CCD-TDI 相機的46倍，可大幅提高設(shè)備檢測效率。

先制冷降噪技術(shù)

相機高速運行時產(chǎn)生的大量熱量，不僅會影響成像質(zhì)量，還會引起測量結(jié)果的波動。鑫圖*水冷和風(fēng)冷技術(shù)，確保相機制冷性能即使長時間運行也能保持穩(wěn)定狀態(tài)，降低設(shè)備誤檢率。

典型應(yīng)用參考