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壓電載物臺·閉環(huán) Carrier.Lxxxx.XY

? 針對載物臺“大行程·高精度·重負載”需求的定制化解決方案

Carrier.L7550XY

• XY方向行程 75 mm × 50 mm；

• 最小步伐約 5 nm；

• 最高速度 20 mm/s；

• 位置傳感器分辨率：1 nm；

• 全行程運動中，保證通孔 85 mm × 65 mm；

• ?持無磁 (.NM) & 高真空 (.HV) & 超高真空 (.UHV)；

• 主體鋁合金 (硬質氧化發(fā)黑)；

Carrier.L1010XY

• XY方向行程 100 mm × 100 mm；

• 最小步伐約 5 nm；

• 最高速度 10 mm/s；

• 位置傳感器分辨率：1 nm；

• 全行程運動中，保證通孔 85 mm × 65 mm；

• ?持無磁 (.NM) & 高真空 (.HV) & 超高真空 (.UHV)；

• 主體鋁合金 (硬質氧化發(fā)黑)；

壓電載物臺，大行程高負載，兼容無磁高真空——詳細參數(shù)：

壓電載物臺，大行程高負載，兼容無磁高真空——尺寸圖：

Carrier.L7550.XY

Carrier.L1010.XY

多場科技致力于全環(huán)境壓電超精密運動控制技術以及產(chǎn)品的開發(fā)與推廣。得益于公司在“強磁場、超高真空和極低溫環(huán)境”環(huán)境領域下長期的探索與積累，多場科技已形成了全環(huán)境納米運動控制產(chǎn)品集群，成為國際上為數(shù)不多的，可以提供全環(huán)境下的納米級運動控制解決方案的團隊。