美國Kimball Physics高能電子槍系統EGH-8103 EGPS-8103特點
可聚焦、高能電子束,小光斑尺寸選項可達 60 μm
10 keV 至 100 keV
應用:
一般真空物理學
輻射研究
地表轟炸
半導體研究
生物標本照射
X 射線生成
血漿激發
熒光研究
表面物理研究
功能/選項:
小光斑尺寸低至 60 μm
光束電流高達 1 mA
靜磁聚焦
靜磁偏轉
磁性透鏡
脈沖能力
運行期間的內部對準
用戶可更換的點火裝置
電腦 / 遙控器
差速泵送
能量范圍:10 keV 至 100 keV
光束電流/光斑尺寸:
標準:10 nA 至 100 μA / 標準:60 μm 至 10 mm
大電流:10 nA 至 1 mA / 大電流:500 μm 至 10 mm
安裝:6.0“ CF 安裝
Kimball Physics EGH-8103 電子槍及其匹配的 EGPS-8103 電源是一個完整的子系統,可以連接到用戶的真空系統并打開。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內傳遞電子。EGH-8103 可用于空間材料測試、輻射研究、半導體研究、X 射線產生和等離子體激發。
該槍使用難熔金屬或六硼化鑭 (LaB6) 陰極產生高能、可聚焦的小光斑電子束。束流能量和束流都可以在很寬的范圍內獨立調節;能量從 10 keV 到 100 keV,電流從 10 nA 到 1 mA。電子束可以通過控制網格的輸入信號進行脈沖傳輸。
該噴槍有可調節的陰極饋通組件,允許點火裝置相對于陽極和色譜柱進行機械對準。這種對準可以在噴槍在光束打開的情況下運行時實時完成。
噴槍設計為源區域提供差動泵送,源室上有一個 4.5 英寸 CF 法蘭,用于連接渦輪分子泵。有三個 2.75 英寸 CF 法蘭,用于電離計和其他選項。該噴槍通常安裝在 6.0 英寸的 CF 法蘭上,插入長度為零,即不會延伸到真空室中。
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