目錄:北京中科科儀光電科技有限公司>>掃描電子顯微鏡>>鎢燈絲低真空掃描電鏡>> KYKY-EM6920Z低真空掃描電子顯微鏡
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 化工,地礦,能源,電子/電池,公安/司法 |
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一、產品特點
1、低真空功能，更適合不導電樣品觀測
2、標配超大樣品倉
3、軟件功能豐富
4、支持定制化
二、KYKY-EM6920Z 技術參數
分辨率 | SE：3nm@30kV,8nm@3kV;BSE：4nm@30kV |
放大倍數 | 1x-1000000x |
低真空功能 | 真空度 10-1000Pa |
加速電壓 | 0.2kV～30kV |
電子槍 | 預對中鎢燈絲，六硼化鑭燈絲（選配） |
真空系統 | 分子泵+機械泵 |
樣品臺 | 五軸自動樣品臺 X=150mm,Y=150mm,Z=65mm， T=-10°～ +90°，R=360° 最大樣品直徑 : Ф320mm 最大樣品高度：90mm |
探測器配置 | 二次電子探測器 半導體背散射探測器※ 紅外 CCD 低真空二次電子探測器 ※ |
三、可選配附件
EDS/EBSD/STEM/CL/LoadLock過渡倉 / 加熱臺 / 冷臺 / 拉伸臺等
四、軟件處理功能
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