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應用領域	石油,建材/家具,電子/電池,制藥/生物制藥,綜合	序列號	176.0755.4908.

原裝ULVAC愛發科渦輪分子泵UTM?MS 系列

特點

可直連羅茨泵（MBP）

使用MBP安裝組件可無需支架直接搭載MBP。

標配熱傳感器

熱傳感器可以監測真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。

內置油霧過濾器的大容量油箱

大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。油箱內置方便更換的盒式濾芯。

被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內。油凈化裝置去除混入的雜質。

用途

光學膜蒸鍍設備

反射器蒸鍍設備

裝飾用蒸鍍設備

薄膜卷繞蒸鍍設備

內嵌濺射設備

烘烤爐 /熱處理爐

凍干設備

檢漏設備

渦輪分子泵，帶有使用磁懸浮軸承的獨立控制器。我們有抽速為300~4000 L/s 的型號陣容。控制器單元可以監控運行狀態并支持各種通信標準。

特點

泵體和控制器分開。控制器可以監控運行狀態并支持各種通信標準。
自由的安裝方向。自由的安裝方向使系統裝置的設計更靈活。
排氣速度300L/s～4000L/s的型號陣容。
分子泵轉速在25-100%范圍內可變。通過改變轉速在腔室中實現壓力調節。
高耐用性和安全性。通過了大氣沖擊試驗、急停測試等各種安全性確認試驗。

用途

各種設備的主真空排氣系統
- 半導體制造設備
- 蒸鍍設備
- 濺射設備
- 研究開發設備
- 分析設備、實驗裝置等

主真空泵系統，用于不產生副反應生成物的輕工藝產線的真空系統。
其他的高真空排氣系統。

規格

表 1

模型			UTM300A-MS		UTM400A-MS		UTM800A-MS		UTM1000A-MS
進氣口			VG100 / ICF152		VG150 / ICF203				VG200 / ICF253
出水口			KF25				KF40
冷卻方式			水冷	空氣冷卻	水冷	空氣冷卻	水冷	空氣冷卻	水冷	空氣冷卻
極限壓力*1		出色地	10 ^-7				10 ^-8
抽氣速度*2	氮氣	升/秒	320		420		800		1080
	和	升/秒	ー
	他	升/秒	340		360		800		930
	氫氣	升/秒	320		340		700		790
壓縮率	氮氣		1×10 ⁹
	他		8× ¹⁰⁴
	氫氣		1× ¹⁰⁴				4×10 ³
最大入口壓力*3		出色地	200	1.3	200	1.3	400	1.3	400	1.3
最大出口壓力*3		出色地	400	40	400	40	665	40	665	40
轉速		轉速	45000				35000
啟動時間			5分鐘或更短
安裝位置			朝任意方向
表面處理			鍍鎳
冷卻水	流速	升/分鐘	1～3	ー	1～3	ー	1～3	ー	1～3	ー
	壓力	兆帕G	02～0.5	ー	02～0.5	ー	02～0.5	ー	02～0.5	ー
噪音		分貝(聲級)	60
重量		公斤	14				33		三十二
推薦前級泵			200L/略多				500L/略多
控制器	作品		分離型
	輸入電功率		單相AC200?240V±10％（50/60Hz±2Hz）
	最大功率		0.55				1.0
	速度變化		轉速在額定轉速的25%~100%之間可調（設定為0.1%）
	溝通		接觸
			串口：RS-232C / RS-485
	重量	公斤	8

*1：表示位數。
*2：無防護網。
*3：最大入口壓力和最大出口壓力不能同時滿足。

表 2

模型			UTM1300A-MS	UTM1500A-MS	UTM2400A-MS	UTM3400A-MS	UTM4300A-MS
進氣口			VG200 / ICF253	VG250		VG300 / VG350	VG350
出水口			KF40
冷卻方式			水冷
極限壓力*1		出色地	10 ^-7
抽氣速度*2	氮氣	升/秒	1300	1500	2100	3200	4400
	和	升/秒	ー		2000	3100	4200
	他	升/秒	1050	1200	2240	3100	ー
	氫氣	升/秒	750	800	1770	2200	2600
壓縮率	氮氣		6×10 ⁸		1×10 ⁹
	他		1× ¹⁰⁴		7×10 ⁴	1×10 ⁵	3× ¹⁰⁴
	氫氣		1× ¹⁰³		3×10 ³	6×10 ³	2× ¹⁰³
最大入口壓力*3		出色地	133		40
最大出口壓力*3		出色地	270		270
轉速		轉速	30300		27000	27600	24000
啟動時間			7分鐘或更短		11分鐘或更短	12分鐘或更短	18分鐘或更短
安裝位置			朝任意方向
表面處理			鍍鎳
冷卻水	流速	升/分鐘	1～3		2～4
	壓力	兆帕G	02～0.5
噪音		分貝(聲級)	60		57	60
重量		公斤	三十九	四十二	70	84	105
推薦前級泵			600L/略多		1300L/略多	1500L/略多
控制器	作品		分離型
	輸入電功率		單相AC200?240V±10％（50/60Hz±2Hz）
	最大功率		1.0		1.5
	速度變化		轉速在額定轉速的25%~100%之間可調（設定為0.1%）
	溝通		接觸
			串口：RS-232C / RS-485
	重量	公斤	8

*1：表示位數。
*2：無防護網。
*3：最大入口壓力和最大出口壓力不能同時滿足。

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