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應(yīng)用領(lǐng)域	石油,建材/家具,電子/電池,制藥/生物制藥,綜合	序列號(hào)	176.0755.4908.

原裝ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵UTM?MS 系列

特點(diǎn)

可直連羅茨泵（MBP）

使用MBP安裝組件可無需支架直接搭載MBP。

標(biāo)配熱傳感器

熱傳感器可以監(jiān)測真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。

內(nèi)置油霧過濾器的大容量油箱

大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。

被油霧過濾器回收的油會(huì)自動(dòng)回到泵內(nèi)。油凈化裝置去除混入的雜質(zhì)。

用途

光學(xué)膜蒸鍍設(shè)備

反射器蒸鍍設(shè)備

裝飾用蒸鍍設(shè)備

薄膜卷繞蒸鍍設(shè)備

內(nèi)嵌濺射設(shè)備

烘烤爐 /熱處理爐

凍干設(shè)備

檢漏設(shè)備

渦輪分子泵，帶有使用磁懸浮軸承的獨(dú)立控制器。我們有抽速為300~4000 L/s 的型號(hào)陣容。控制器單元可以監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)并支持各種通信標(biāo)準(zhǔn)。

特點(diǎn)

泵體和控制器分開。控制器可以監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)并支持各種通信標(biāo)準(zhǔn)。
自由的安裝方向。自由的安裝方向使系統(tǒng)裝置的設(shè)計(jì)更靈活。
排氣速度300L/s～4000L/s的型號(hào)陣容。
分子泵轉(zhuǎn)速在25-100%范圍內(nèi)可變。通過改變轉(zhuǎn)速在腔室中實(shí)現(xiàn)壓力調(diào)節(jié)。
高耐用性和安全性。通過了大氣沖擊試驗(yàn)、急停測試等各種安全性確認(rèn)試驗(yàn)。

用途

各種設(shè)備的主真空排氣系統(tǒng)
- 半導(dǎo)體制造設(shè)備
- 蒸鍍設(shè)備
- 濺射設(shè)備
- 研究開發(fā)設(shè)備
- 分析設(shè)備、實(shí)驗(yàn)裝置等

主真空泵系統(tǒng)，用于不產(chǎn)生副反應(yīng)生成物的輕工藝產(chǎn)線的真空系統(tǒng)。
其他的高真空排氣系統(tǒng)。

規(guī)格

表 1

模型			UTM300A-MS		UTM400A-MS		UTM800A-MS		UTM1000A-MS
進(jìn)氣口			VG100 / ICF152		VG150 / ICF203				VG200 / ICF253
出水口			KF25				KF40
冷卻方式			水冷	空氣冷卻	水冷	空氣冷卻	水冷	空氣冷卻	水冷	空氣冷卻
極限壓力*1		出色地	10 ^-7				10 ^-8
抽氣速度*2	氮?dú)?/span>	升/秒	320		420		800		1080
	和	升/秒	ー
	他	升/秒	340		360		800		930
	氫氣	升/秒	320		340		700		790
壓縮率	氮?dú)?/span>		1×10 ⁹
	他		8× ¹⁰⁴
	氫氣		1× ¹⁰⁴				4×10 ³
最大入口壓力*3		出色地	200	1.3	200	1.3	400	1.3	400	1.3
最大出口壓力*3		出色地	400	40	400	40	665	40	665	40
轉(zhuǎn)速		轉(zhuǎn)速	45000				35000
啟動(dòng)時(shí)間			5分鐘或更短
安裝位置			朝任意方向
表面處理			鍍鎳
冷卻水	流速	升/分鐘	1～3	ー	1～3	ー	1～3	ー	1～3	ー
	壓力	兆帕G	02～0.5	ー	02～0.5	ー	02～0.5	ー	02～0.5	ー
噪音		分貝(聲級(jí))	60
重量		公斤	14				33		三十二
推薦前級(jí)泵			200L/略多				500L/略多
控制器	作品		分離型
	輸入電功率		單相AC200?240V±10％（50/60Hz±2Hz）
	最大功率		0.55				1.0
	速度變化		轉(zhuǎn)速在額定轉(zhuǎn)速的25%~100%之間可調(diào)（設(shè)定為0.1%）
	溝通		接觸
			串口：RS-232C / RS-485
	重量	公斤	8

*1：表示位數(shù)。
*2：無防護(hù)網(wǎng)。
*3：最大入口壓力和最大出口壓力不能同時(shí)滿足。

表 2

模型			UTM1300A-MS	UTM1500A-MS	UTM2400A-MS	UTM3400A-MS	UTM4300A-MS
進(jìn)氣口			VG200 / ICF253	VG250		VG300 / VG350	VG350
出水口			KF40
冷卻方式			水冷
極限壓力*1		出色地	10 ^-7
抽氣速度*2	氮?dú)?/span>	升/秒	1300	1500	2100	3200	4400
	和	升/秒	ー		2000	3100	4200
	他	升/秒	1050	1200	2240	3100	ー
	氫氣	升/秒	750	800	1770	2200	2600
壓縮率	氮?dú)?/span>		6×10 ⁸		1×10 ⁹
	他		1× ¹⁰⁴		7×10 ⁴	1×10 ⁵	3× ¹⁰⁴
	氫氣		1× ¹⁰³		3×10 ³	6×10 ³	2× ¹⁰³
最大入口壓力*3		出色地	133		40
最大出口壓力*3		出色地	270		270
轉(zhuǎn)速		轉(zhuǎn)速	30300		27000	27600	24000
啟動(dòng)時(shí)間			7分鐘或更短		11分鐘或更短	12分鐘或更短	18分鐘或更短
安裝位置			朝任意方向
表面處理			鍍鎳
冷卻水	流速	升/分鐘	1～3		2～4
	壓力	兆帕G	02～0.5
噪音		分貝(聲級(jí))	60		57	60
重量		公斤	三十九	四十二	70	84	105
推薦前級(jí)泵			600L/略多		1300L/略多	1500L/略多
控制器	作品		分離型
	輸入電功率		單相AC200?240V±10％（50/60Hz±2Hz）
	最大功率		1.0		1.5
	速度變化		轉(zhuǎn)速在額定轉(zhuǎn)速的25%~100%之間可調(diào)（設(shè)定為0.1%）
	溝通		接觸
			串口：RS-232C / RS-485
	重量	公斤	8

*1：表示位數(shù)。
*2：無防護(hù)網(wǎng)。
*3：最大入口壓力和最大出口壓力不能同時(shí)滿足。

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