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池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第3年

17607554908

當(dāng)前位置:池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司>>ULVAC愛發(fā)科>>真空泵>> UTM300A-MS原裝ULVAC愛發(fā)科 渦輪分子泵UTM?MS 系列

原裝ULVAC愛發(fā)科 渦輪分子泵UTM?MS 系列

參   考   價(jià): 9586

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)UTM300A-MS

品       牌ULVAC/日本愛發(fā)科

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地深圳市

更新時(shí)間:2024-08-12 14:09:58瀏覽次數(shù):386次

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應(yīng)用領(lǐng)域 石油,建材/家具,電子/電池,制藥/生物制藥,綜合 序列號(hào) 176.0755.4908.
原裝ULVAC愛發(fā)科 渦輪分子泵UTM?MS 系列
提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

原裝ULVAC愛發(fā)科  渦輪分子泵UTM?MS 系列  

原裝ULVAC愛發(fā)科  渦輪分子泵UTM?MS 系列  

特點(diǎn)

可直連羅茨泵(MBP)

使用MBP安裝組件可無需支架直接搭載MBP。

標(biāo)配熱傳感器

熱傳感器可以監(jiān)測真空泵溫度的異常上升,通知油量的減少和泵的異常。

內(nèi)置油霧過濾器的大容量油箱

大容量油箱(油容量:23~30L)減少油的更換頻率。 油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。

被油霧過濾器回收的油會(huì)自動(dòng)回到泵內(nèi)。 油凈化裝置去除混入的雜質(zhì)。

用途

光學(xué)膜蒸鍍設(shè)備

反射器蒸鍍設(shè)備

裝飾用蒸鍍設(shè)備

薄膜卷繞蒸鍍設(shè)備

內(nèi)嵌濺射設(shè)備

烘烤爐 /熱處理爐

凍干設(shè)備

檢漏設(shè)備

渦輪分子泵,帶有使用磁懸浮軸承的獨(dú)立控制器。我們有抽速為300~4000 L/s 的型號(hào)陣容。控制器單元可以監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)并支持各種通信標(biāo)準(zhǔn)。


特點(diǎn)

  • 泵體和控制器分開。控制器可以監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)并支持各種通信標(biāo)準(zhǔn)。

  • 自由的安裝方向。自由的安裝方向使系統(tǒng)裝置的設(shè)計(jì)更靈活。

  • 排氣速度300L/s~4000L/s的型號(hào)陣容。

  • 分子泵轉(zhuǎn)速在25-100%范圍內(nèi)可變。通過改變轉(zhuǎn)速在腔室中實(shí)現(xiàn)壓力調(diào)節(jié)。

  • 高耐用性和安全性。通過了大氣沖擊試驗(yàn)、急停測試等各種安全性確認(rèn)試驗(yàn)。

用途

  • 各種設(shè)備的主真空排氣系統(tǒng)

    - 半導(dǎo)體制造設(shè)備
    - 蒸鍍設(shè)備
    - 濺射設(shè)備
    - 研究開發(fā)設(shè)備
    - 分析設(shè)備、實(shí)驗(yàn)裝置等

    • 主真空泵系統(tǒng),用于不產(chǎn)生副反應(yīng)生成物的輕工藝產(chǎn)線的真空系統(tǒng)。

    • 其他的高真空排氣系統(tǒng)。

    規(guī)格

    表 1
    模型UTM300A-MSUTM400A-MSUTM800A-MSUTM1000A-MS
    進(jìn)氣口VG100 / ICF152VG150 / ICF203VG200 / ICF253
    出水口KF25KF40
    冷卻方式水冷
    空氣
    冷卻
    水冷
    空氣
    冷卻
    水冷
    空氣
    冷卻
    水冷
    空氣
    冷卻
    極限壓力*1出色地10 -710 -8
    抽氣速度*2氮?dú)?/span>升/秒3204208001080
    升/秒
    升/秒340360800930
    氫氣升/秒320340700790
    壓縮率氮?dú)?/span>1×10 9
    8× 104
    氫氣1× 1044×10 3
    最大入口壓力*3出色地2001.32001.34001.34001.3
    最大出口壓力*3出色地40040400406654066540
    轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)速4500035000
    啟動(dòng)時(shí)間5分鐘或更短
    安裝位置朝任意方向
    表面處理鍍鎳
    冷卻水流速升/分鐘1~31~31~31~3
    壓力兆帕G02~0.502~0.502~0.502~0.5
    噪音分貝(聲級(jí))60
    重量公斤1433三十二
    推薦前級(jí)泵200L/略多500L/略多
    控制器作品分離型
    輸入電功率單相AC200?240V±10%(50/60Hz±2Hz)
    最大功率0.551.0
    速度變化 轉(zhuǎn)速在額定轉(zhuǎn)速的25%~100%之間可調(diào)(設(shè)定為0.1%)
    溝通接觸
    串口:RS-232C / RS-485
    重量公斤8
    *1:表示位數(shù)。
    *2:無防護(hù)網(wǎng)。
    *3:最大入口壓力和最大出口壓力不能同時(shí)滿足。




    表 2
    模型UTM1300A-MSUTM1500A-MSUTM2400A-MSUTM3400A-MSUTM4300A-MS
    進(jìn)氣口VG200 / ICF253VG250VG300 / VG350VG350
    出水口KF40
    冷卻方式水冷
    極限壓力*1出色地10 -7
    抽氣速度*2氮?dú)?/span>升/秒13001500210032004400
    升/秒200031004200
    升/秒1050120022403100
    氫氣升/秒750800177022002600
    壓縮率氮?dú)?/span>6×10 81×10 9
    1× 1047×10 41×10 53× 104
    氫氣1× 1033×10 36×10 32× 103
    最大入口壓力*3出色地13340
    最大出口壓力*3出色地270270
    轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)速30300270002760024000
    啟動(dòng)時(shí)間7分鐘或更短11分鐘或更短12分鐘或更短18分鐘或更短
    安裝位置朝任意方向
    表面處理鍍鎳
    冷卻水流速升/分鐘1~32~4
    壓力兆帕G02~0.5
    噪音分貝(聲級(jí))605760
    重量公斤三十九四十二7084105
    推薦前級(jí)泵600L/略多1300L/略多1500L/略多
    控制器作品分離型
    輸入電功率單相AC200?240V±10%(50/60Hz±2Hz)
    最大功率1.01.5
    速度變化 轉(zhuǎn)速在額定轉(zhuǎn)速的25%~100%之間可調(diào)(設(shè)定為0.1%)
    溝通接觸
    串口:RS-232C / RS-485
    重量公斤8

    *1:表示位數(shù)。
    *2:無防護(hù)網(wǎng)。
    *3:最大入口壓力和最大出口壓力不能同時(shí)滿足。


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