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應用領域	石油,建材/家具,電子/電池,制藥/生物制藥,綜合	序列號	176.0755.4908.

全新ULVAC愛發科真空隔膜型干泵DAT-100S

特點

通過對轉子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理，進行腐蝕。

采用ULVAC 設計的底座軸，實現高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區域連續運行。

目的

半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統，如刻蝕設備、去膠設備、離子清洗設備等。

真空熱處理爐真空排氣系統，如燒結爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設備真空排氣系統，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。

醫療食品設備相關的真空排氣系統，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。

螺桿型干式真空泵。在傳統LS系列的基礎上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計

當使用干泵時可選配，用于降低排氣噪音。

膜片泵通過橡膠膜片的往復運動來形成真空。
泵體結構采用無油環境設計、因此維護簡單。
根據您對壓力和腔體的要求可以選擇各種不同的泵速和雙段/單段設計。

特點

※1：極限壓力如（）真空計顯示。
※2：不包括電源插頭和電源線。

●：標準、○：可選對應、－：對應不可
※ＴＵＶ認證：本產品是通過國際第三方產品安全測試和認證，符合歐洲標準的高質量產品。
※ｃＴＵＶｕｓ認證：本產品是通過國際第三方產品安全測試和認證，符合美國標準的高質量產品。

１	如果在負載運作期間停止泵，然后立即重新啟動，則可能無法重新啟動。在這種情況下，將泵內部恢復到大氣壓。
２	請不要吸入腐蝕性氣體，有機溶劑，液體和可冷凝氣體（如水蒸氣）。另外，請確保污垢和灰塵不會進入泵內部。
３	泵啟動時會有大電流流過。在短時間內頻繁打開和關閉泵電源可能會導致問題。不要經常頻繁打開/關閉電源。
４	僅供室內使用請勿安裝在下雨或淹水的地方或室外。