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HORIBA堀場 WQ - 320PD-S多數字 pH/光學 DO 套
HORIBA堀場 WQ-310D-S 便攜式多功能數字水質計
| 應用領域 | 農林牧漁,電子/電池,道路/軌道/船舶,電氣,綜合 | 訂貨號 | 176.0755.4908. |
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全新HORIBA堀場 緊湊機身中的控制單元
全新HORIBA堀場 緊湊機身中的控制單元
隨著半導體制造薄膜沉積工藝中微細加工的進步，處理后保持腔室清潔對于提高生產率變得非常重要。 IR-400系列是用于薄膜沉積工藝的腔室清潔終點檢測監視器，可實時監測廢氣成分（SiF4、CF4）。通過優化干洗終點檢測、減少清潔氣體消耗和時間以及減少室損壞，有助于延長零件的使用壽命。
寬廣的流量控制范圍，從 10 SCCM 到 1000 SLM
流量控制范圍可以從滿量程流量值的 2% 開始執行
高精度：±1.0% 提高 SP 流量精度
配備數字校正功能，實現設定點精度
全流量范圍快速響應：1秒內完成全量程
配備多氣體/多量程功能，
允許用戶改變氣體類型和滿量程流量。
在整個流量范圍內（上升、下降、設定值到設定值）響應時間為 100 毫秒或更短
自診斷多重診斷功能
改進的壓力不敏感功能
高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復性 (±0.15 %SP)
兼容環境溫度范圍廣（15-60℃）
0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度
提供了過程優化和靈活性。
小于500毫秒的高速響應
級別，
尺寸僅為其他公司的 1/20，傳感器截面尺寸僅為 5 厘米。非常適合整合到設備中
該傳感器配備有由16根電極棒組成的9個四極桿部分，具有的結構，盡管其尺寸最小，但仍實現了高靈敏度。
低真空（高壓）操作
當測量總壓力高達 0.5 Pa（對于 2-65 m/z 傳感器）時，無需準備額外的差壓泵系統。
用戶可更換的傳感器
校準過濾器可以在現場輕松更換，無需拆卸設備。
一臺安裝了專用通信
軟件的 PC 通過 RS-485 通信最多可以連接 8 臺設備。它還具有適合設備集成的模擬輸入/輸出。
用戶友好的 Micropole ScannerTM 2 軟件是為專用軟件QL-SG02 開發的，可實現 QL-SG02 的控制、數據采集、可視化和分析。
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