產品名稱：SENTECH激光橢偏儀SE 500adv

產品型號：SE 500adv

產品介紹

SENTECH SE 500adv 可作為激光橢偏儀、膜厚探頭和 CER 橢圓偏振儀使用。因此，它具有標準激光橢偏儀所不具備的靈活性。作為橢偏儀使用時，可進行單角度和多角度測量。作為薄膜厚度探頭使用時，可在正常入射條件下測量透明或弱吸收薄膜的厚度。SE 500adv 中的橢偏儀和反射儀（CER）組合包括橢偏儀光學鏡組、測角儀、組合式反射測量頭和自動準直望遠鏡、樣品平臺、氦氖激光源、激光光檢測單元和光度計。

性能特點

l 準確無誤的厚度測定：將橢偏儀和反射儀結合使用，可通過自動識別循環厚度周期，快速、準確地測定透明薄膜的厚度。

l 大的測量范圍：激光橢偏儀和反射儀的組合將透明薄膜的厚度范圍擴大到 25 µm 或更多，具體取決于所選的光度計選項。

l 突破激光橢偏儀的限制：多角度手動測角儀具有高的性能和角度精度，可測量單層薄膜和層堆的折射率、消光系數和薄膜厚度。

技術參數

產地：德國

波長：632.8 nm HeNe 激光器（< 1mW）

薄膜厚度精度：硅上 100 納米二氧化硅的 0.01 納米

折射率精度偏差：5x10-4（100 nm SiO2 on Si）

透明層的總厚度范圍：max.6 µm

弱吸收層（多晶硅）的總厚度范圍：max.2 µm

默認層數：層疊或基底上的 1-3 層

測量時間：120 毫秒 ..... 1.5 秒（取決于測量模式）

激光束直徑：1 毫米

入射角：手動測角儀

40° - 90°，以 5° 為單位設置

樣品校準：自動準直望遠鏡 (ACT)，用于調整樣品傾斜度和高度

產品應用

測繪范圍達 200 毫米

用于現場測量的液體電池

攝像機

自動對焦

電動測角儀

SpectraRay 4.0 仿真軟件

經過認證的標準晶片