產品名稱：XONOX干涉儀系統VT750

產品型號：VT750

產品介紹

VT750是用于生產、質量檢驗和計量實驗室環境的干涉儀塔。此外，還提供“tower only"版本“B"，用于集成現有或第三方干涉儀單元，或配備ZYGO Verifire和ZYGO MX條紋分析軟件的版本“Z"。該系統可以配備PC桌、2個屏幕、鼠標和鍵盤，也可以配備內置PC和觸摸面板，以優化操作并更大限度地減少生產環境中的空間需求。

性能特點

l 天然花崗巖柱具有非常平坦和準確的導向表面，便于使用，可以非常準確地測量光學元件的曲率半徑

l 高精度和準確的線性標尺，具有高的分辨率，直接與條紋分析軟件連接

l 測量臺在空氣軸承滑塊上平衡和導向，便于快速、簡單、準確地設置和移動

l 占地面積小，價值非凡，結合高精度和剛性，免維護設計

l 堅固的減振系統，非常適合工業生產環境

l XONOX X-fiz 100（4英寸）或X-fiz 130（5.2英寸）高性能斐索干涉儀，可電子控制光學變焦（1x至10x）、聚焦和對比度

l 創新、強大、用戶友好的條紋分析系統X-fringe2，具有不同的智能和智能模式，可適應各種應用

l 從具有靜態條紋分析的低成本“ST"版本到高性能“PS2"相移版本進行選擇

選型指南

VT750 ST：配備XONOX X-fiz 100（4英寸）/X-fiz 130（5.2英寸），帶10倍光學變焦和靜態條紋分析系統XONOX“X-fringe ST"

VT750 PS2：配備XONOX X-fiz 100（4英寸）/X-fiz 130（5.2英寸），帶10倍光學變焦，相移條紋分析系統XONOX“X-frige2"和壓電移相器XONOX"X-phase PMR“

VT750 Z：帶ZYGO Verifire 4“或6"干涉儀單元和Mx相移條紋分析

VT750 B：用于集成現有干涉儀單元的“tower only"版本。

可選功能與配件

可選配XONOX條紋分析系統X-fringe2ST或帶X相PMR移相器的X-fridge2PS。

技術參數

產地：美國

行程范圍：max.750mm（800mm線性刻度范圍）

測試直徑：max.200mm（取決于使用的TS和零件支架）

測量系統：帶PC接口和溫度擴展補償功能的增量高精度線性測量系統（標準）/可選激光放電測量系統（可選）

測量精度：20°C時每500mm高達+/-0.7μm

分辨率：高達0.1µm（標準0.5µm）

尺寸（寬x深x高）：800 x 900 x 2100 mm

（如果使用PC進行條紋分析，則需要額外的空間，XONOX PC臺可選）

連接：10-240V/50-60Hz

壓縮空氣：6bar

重量：約500kg

顏色：淺灰色RAL 7035